また、限られた稼働枠をより多くの方にご利用いただけるよう、一部装置については予約件数に上限を設けております。特定のユーザーへの利用集中を避け、より公平な運用を目指すための措置ですので、ご理解とご協力をお願いいたします。

該当装置をご利用予定の皆様にはご不便・ご迷惑をおかけいたしますが、何卒ご容赦くださいますようお願い申し上げます。

【主要装置】

■ （TEM/STEM）JEM-ARM200F（Wコレクタ）

• 状況：TEMコレクタ不調のため使用停止中 仮復旧完了、7月7日より通常使用再開
• 備考：今後も動作に不安定要素が残る可能性があります。異常を感じた場合は速やかにご連絡ください。

■ （TEM/STEM）JEM-ARM200F（STEMコレクタ）

• 状況：通常稼働中
• 制限：
  • ※ディスパーション 0.25 eV設定時はオフセット500 eV前後、0.1 eV設定時は300 eV前後でバックグラウンドに異常な盛り上がりが確認されています.
    (参考) https://www.youtube.com/watch?v=r1a1ufURYWE
  • 1グループ（研究室・事業所等）あたり、未消化の予約を2件までに制限（セルフ・依頼共通）
  • Wコレクタの仮復旧に伴い7/7より制限緩和
• 備考：EELSの利用可否については事前にご相談ください。

■ （FIB/SEM）Versa 3D

• 状況：SEM機能故障中、加速電圧は最大5 kVに制限
• 利用制限：
  • セルフ利用：停止中
  • 代行測定または常時立会による利用は可（要事前相談）
• 復旧目標：2025年8月以降

■ （FIB/SEM）AMBER X

• 状況：
  • FIB機能：故障中(SEMは使用可)
  • SIMS機能：水素検出不調
• 現在使用可能な機能：SEM、EDS
• 復旧目標：2025年8月以降

【その他使用制限中の装置】

■ JEM-2000EXII

使用不可（対物レンズ冷却不安定/他）

■ EM-002B

常用困難（加速電圧不安定/他）

メンテナンス継続中

ご不明な点や、代替装置のご相談につきましては、当室までお問い合わせください。
以上、よろしくお願い申し上げます。

本トラブルは復旧済みです。（2025/03/13現在）

金研分析電顕室　利用者各位

2025/02/10現在当室管理のTEM(JEM-ARM200F(Wコレクタ))が不調のため使用不可となっております。

左の操作パネルが故障しており、動作が不安定な状態です。（TEMセンターの画面上では操作可能なので、顕微鏡機能についての故障ではなく、操作盤のハードウェアの不具合と考えられます。）

復旧時期は未定です。(修理はメーカーに依頼済みですので、部材と担当エンジニアの手配がつき次第、復旧予定について再度案内いたします。)

故障期間中のJEM-ARM200F(Wコレクタ)の使用予定につきましてはJEM-ARM200F(STEMコレクタ）で対応致しますが、マシンタイム、対応スタッフのスケジュールが混雑することが予想されますので、ご利用予定の方は、早めのスケジュール確保をお願いします。

ご不便をおかけして大変申し訳ありませんが、よろしくお願いします。不明な点はお尋ねください。

金研分析電顕室　長迫

2024/10/21現在当室管理のTEM(JEM-ARM200F(Wコレクタ))が不調のため使用不可となっております。

左の操作パネルが故障しており、ブライトネス調整およびアライメントができない状態です。

復旧時期は未定です。(修理はメーカーに依頼済みですので、部材と担当エンジニアの手配がつき次第、復旧予定について再度案内いたします。)

故障期間中のJEM-ARM200F(Wコレクタ)の使用予定につきましてはJEM-ARM200F(STEMコレクタ）で対応致しますが、マシンタイム、対応スタッフのスケジュールが混雑することが予想されますので、ご利用予定の方は、早めのスケジュール確保をお願いします。

ご不便をおかけして大変申し訳ありませんが、よろしくお願いします。不明な点はお尋ねください。

金研分析電顕室　長迫

JEM-ARM200F（STEMコレクタ機）のメンテナンス（電子銃交換）が終了し使用可能となりましたのでお知らせいたします。

分析電顕室

いつも当室をご利用頂きありがとうございます。

現在当室管理の分析電子顕微鏡EM-002Bで以下の不具合が発生しております。応急対応はすんでおり観察は可能ですが、復旧には大規模なメンテナンスが必要となる見込みです。

現状において、一応観察は可能ですが、突然再発する可能性が否定できません。また、本不具合に伴い、実験上の制限が生じております。

年度末の時期であり、マシンタイムも混雑しておりますので、当面は利用停止の措置をとる予定はございませんが、当日突然使用できなくなるもしくは十分な質のデータが得られない等の可能性がございます。締切の近い実験等については、他部署の利用もご検討下さい。

利用者の皆様にはご不便をおかけして申し訳ございませんが、 できるだけ迅速な復旧を目指して対応中ですのでご理解のほどをお願い致します。

主な不具合内容

• 放電によるビームのちらつき。
• エミッション回路・高圧タンクのいずれかまたは両方の不調。
• エミッション電流の低下。（観察像の明るさ、EDSのカウント数不足の可能性）

対応

• 新規の直接予約停止（利用希望の方は直接ご連絡ください。）
• メーカーエンジニアによる点検・修理を予定していますが、補修部材の調達に時間がかかる恐れがあるため、復旧時期は未定です。

原因等については現在調査中です。個別の実験に対する影響については直接ご相談ください。

分析電顕室

いつも当室をご利用頂きありがとうございます。

現在当室管理の原子分解能電子顕微鏡JEM-ARM200Fで以下の不具合が発生しております。応急対応はすんでおり観察は可能ですが、実験への影響が出る可能性が考えられます。利用者の皆様にはご不便をおかけして申し訳ございませんが、 できるだけ迅速な復旧を目指して対応中ですのでご理解のほどをお願い致します。

不具合内容

• インギャップ絞りの変形
• ポールピースキャップ外れ

対応

• 変形したOLAは既に取り外し済で、1月中に交換予定です。（交換しました。）
• ポールピースキャップの取り付けにはポールピースを取り外す必要があるため、大規模メンテナンスまでの間当面は取り外したまま使用いたします。

影響

• OLA(upper)使用不可
• EDS測定においてCo等のバックグラウンドレベルが上昇する場合がある。

原因等については現在調査中です。個別の実験に対する影響については直接ご相談ください。

分析電顕室

いつも当室をご利用頂きありがとうございます。

先日アナウンスした、イオンミリング装置Model1010 (fischione)の不具合は解消いたしました。

金研・分析電顕室

いつも当室をご利用頂きありがとうございます。

現在・イオンミリング装置Model1010 (fischione)　が使用不能となっております。従って、機器利用並びに本装置を用いた試料作製を実施できない状況です。

既に試料作製を依頼されている方や、今後依頼される予定の方でお急ぎの場合は他部署への振替などをご検討頂きますようお願い申し上げます。

原因は排気系の不具合と推定されますが詳細については調査中です。

復旧の見通しがつき次第、再度アナウンスさせていただきます。

詳細についてはお問い合わせください。

以上よろしくお願いします。

金研・分析電顕室

いつも当室をご利用頂きありがとうございます。

下記の通り、JEM-2000EXIIのメンテナンスを行います。メンテナンス期間中は当該装置をご使用になれません。年末のお忙しい時期にご迷惑をおかけ致しますが、ご理解ご協力のほどお願いします。

記

• JEM-2000EX補修作業
• 日程　　2017/12/15-12/20
• 作業内容　電子銃及び高圧タンクの交換　他