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| 装置名称 | 超高分解能収差補正型走査透過電子顕微鏡ｼｽﾃﾑ | 超高分解能収差補正型走査透過電子顕微鏡ｼｽﾃﾑ | サブ・オングストローム 高分解能 分析透過電子顕微鏡 |
| Titan³™ 60-300 Double Corrector （FEI-Company） | Titan³™ 60-300 Probe Corrector （FEI-Company） | Titan™ 80-300 Image Corrector （FEI-Company） |
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| 電子銃 | FE電子銃(X-FEG) （加速電圧：60kV, 300kV） | FE電子銃(X-FEG) （加速電圧：60kV, 300kV） | FE電子銃 （加速電圧：80kV, 300kV） |
| 観察機能 | 球面収差補正装置 (Image & Probe Corrector) | 球面収差補正装置 (Probe Corrector) | 球面収差補正装置 (Image Corrector) |
| TEM分解能 : 80pm 70 pm (MonoFiltered) | TEM分解能 : 130pm | TEM分解能 : 80pm (300kV) :130pm (80kV) |
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| STEM 高分解能 ; 70 pm | STEM 高分解能 ; 70 pm | STEM 高分解能 ; 135pm～140pm | |
| エネルギー分解能 ; 0.85eV, 0.3eV (Mono on) | |||
| CCDカメラ Gatan UltraScan1000XP | CCDカメラ Gatan UltraScan1000XP | CCDカメラ Gatan MultiScan |
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| 分析機能 | EDSシステム Super-X | EDSシステム super-X | EDSシステム EDAX |
| EELS システム Gatan GIF, Tridiem |
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| トモグラフィ | |||
| TEM/STEM 明視野/暗視野/高分解能観察/電子回折/EDS分析/元素マッピング | TEM/STEM 明視野/暗視野/高分解能観察/電子回折/EDS分析/元素マッピング | TEM/STEM 明視野/暗視野/高分解能観察/電子回折/EDS分析/EF-TEM/EELS |