| 装置名称 | 高分解能・低加速電圧走査型電子顕微鏡 | 超高分解能走査型電子顕微鏡 |
| SU-8000 (日立ハイテクノロジーズ） | S-5500 (日立ハイテクノロジーズ） | |
| 電子銃 | FE 電子銃 加速電圧: 0.1～30kV | FE 電子銃 加速電圧: 0.5～30kV |
| 二次電子像分解能 | 高加速電圧15kV 1.0 nm (WD=4mm) | 高加速電圧30kV 0.4nm |
| 低加速電圧1kV1.3nm (WD=1.5nm) | 低加速電圧1kV 1.6nm | |
| EDS分析装置（Thermo) | ||
| 最大試料サイズ | 100mm径（最大） | 平面 5.0mm×9.5mm×3.5mmH |
| 断面 2.0mm×6.0mm×5.0mmH |