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FIB

装置名称Dual Beam™ 装置（FIB/SEM)
Quanta™ 3D 200i Dual Beam™ (FEICompany)
電子銃熱放射型（Ｗ）
加速電圧：0.2kV～30kV
FIB : 液体金属Gaイオン銃 加速電圧：0.5kV～30kV
デポジションガスW 金属蒸着・C 蒸着
連続断面加工3次元構造構築
3次元構造再生ソフト
TEM試料ピックアップOmni Probe