メイワフォーシス NEOC-PRO
チャンバー寸法：Φ150 × 70㎜
複数個サンプル同時処理可能
試料表面に金属オスミウム皮膜を製膜。
チャージアップ対策・スパッタコータと比較して低ダメージ、短時間処理。
参考：製品情報 （外部サイト）
Imaging Diffraction Spectrometry
メイワフォーシス NEOC-PRO
チャンバー寸法：Φ150 × 70㎜
複数個サンプル同時処理可能
試料表面に金属オスミウム皮膜を製膜。
チャージアップ対策・スパッタコータと比較して低ダメージ、短時間処理。
参考：製品情報 （外部サイト）