メイワフォーシス NEOC-PRO
チャンバー寸法:Φ150 × 70㎜
複数個サンプル同時処理可能
試料表面に金属オスミウム皮膜を製膜。
チャージアップ対策・スパッタコータと比較して低ダメージ、短時間処理。
参考:製品情報 (外部サイト)
メイワフォーシス NEOC-PRO
チャンバー寸法:Φ150 × 70㎜
複数個サンプル同時処理可能
試料表面に金属オスミウム皮膜を製膜。
チャージアップ対策・スパッタコータと比較して低ダメージ、短時間処理。
参考:製品情報 (外部サイト)
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