ディンプルグラインダー　Model 656-3

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ディンプルグラインダー Model 656 外観

概要

Gatan（ガタン）社製 精密ディンプルグラインダー Model 656-3 は、透過型電子顕微鏡（TEM）試料作製の前処理工程において、Φ3 mm 試料ディスクの中央部を同心円状・球面状に機械研磨（ディンプリング）し、局所的に超薄膜化するための精密機械研磨装置です。

最終のイオンミリング（PIPS 等）時間を大幅に短縮すると同時に、周辺部（リム）の十分な機械的強度を維持したまま、中央観察領域を数 µm 〜 十数 µm の厚みまで安全かつ均一にプリクラックなしで薄膜化できます。

主な特長

  • 超精密研磨深さ制御（デジタルアーム精度）： ディンプリング深さをデジタル表示と光学／電気センサでリアルタイム監視。目標深さ（μm 単位）に達すると研磨が自動停止。
  • 高精度自動ロード（加重調整機構）： 試料にかける研磨荷重をグラム単位で細かく設定可能。脆い半導体や単結晶、複合材料のクラックを防ぎ安定研磨。
  • 多彩な砥石と研磨用ホイール： ダイヤモンドホイール（荒研磨用）およびフェルト／ブロンズホイール（ダイヤモンドペースト用仕上げ研磨）を用意。
  • 透過照明光学顕微鏡観察： 透過光により薄膜化領域の光透過率・干渉色を確認しながら研磨位置と残り厚みを把握可能。

主な仕様

【仕様に関するご注意】
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
メーカー Gatan, Inc.（ガタン社）
型式 Model 656-3（Precision Dimple Grinder）
対象試料寸法 Φ3 mm TEM 試料ディスク
研磨速度・制御 ホイール回転速度可変・自動加重バランス機構
研磨深さ計測 デジタルインジケータ（極小自動ストップ機能付き）
ホイール種類 ダイヤモンドホイール（粗研磨）、フェルト／ブロンズホイール（鏡面仕上げ）
用途 TEM 試料の中央部球面研磨（最終イオン研磨前処理）
設置場所 1-105

マニュアル・利用案内