JEM-2100plus：ビーム表示

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💡 スクリーンにビームを表示する。表示されない場合は原因を取り除く。

  1. 前提
    1. 管理者によって日常的な調整が済んでいる状態である。
  2. 事前確認
    1. 試料ホルダをセットしている
    2. 加速電圧（通常200kV）が印加されている。
  3. 電子線発生　（参照）JEM-2100plus 電子線発生・停止（基礎）
    1. 真空度を確認
      • SIP　10^-5Pa台　
    2. 電子線発生
      • Beam Current　103～107uA 程度
      • Beam Currentが小さい場合はBIASの調整が必要（管理者へ連絡）
      • BeamCurrentが変化しない場合は、フィラメント断線の可能性（管理者へ連絡）
  4. 像モードへ変更
    1. [PANEL-L : Function : MAG1(MAG2)]
  5. スクリーンでビームを確認
    1. スクリーンにビームが表示されている場合はOK（作業終了）
    2. スクリーンにビームが表示されていない場合
      1. 電子線経路から絞りを全て抜く
        • 絞りが電子線経路を塞いでいる可能性
      2. 倍率を下げる
        • 視野の外側にビームが届いている可能性
      3. プローブを確認
        • ビームが暗すぎる可能性
      4. 試料移動
        • 試料が電子線経路を塞いでいる可能性
  6. 上記作業を全て行っても、スクリーンにビームが表示されない場合は、アライメントが必要。
    1. 管理者に連絡
    2. アライメントファイル読み込みを試しても良い。
      1. 最新版を読み込むこと