JEM-2100plus:像観察(基本)

💡 本ページはJEM-2100plusのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。

  1. [PANEL-R : Function : MAG1] 像観察モードへ
    1. [PANEL-L : APERTURE CONTROL :OL(OPEN)] 対物絞り:OPEN
    2. [HCA] ハイコントラスト対物絞り:OPEN
    3. [SA] 制限視野絞り:OPEN
  2. [PANEL-R : STD FOCUS] 対物レンズ基準電流呼び出し

    💡 STF FOCUS は頻繁に行って良い。

  3. プローブ設定
    1. [PANEL-L : PROBE CONTROL : TEM] TEMモード
    2. [PANEL-L : PROBE CONTROL : SPOT SIZE] SPOT SIZE設定(通常:2)
    3. [PANEL-L : PROBE CONTROL : αSELECTOR] 収束角(照射範囲)設定(通常:2)
    4. [CLA] コンデンサ絞り選択・センタリング (通常:2)
  4. [PANEL-R : MAG/CAM L] 倍率設定 (通常:10~50K程度から)
  5. ビームセンタリング
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 蛍光板上でビームを絞る。(クロスオーバー)
    2. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 明視野照射モード選択
    3. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y] Beam Shiftでセンタリング
  6. コンデンサレンズ非点調整
    1. [PANEL-L : DEF/STIG : COND STIG] コンデンサレンズ非点調整モード選択
    2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y](Cond STIG)スポット形状を真円に近づける。
  7. Brightness調整
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 観察しやすい明るさ:スクリーンと同程度までビームを広げる
  8. 視野探し
    1. [TB] トラックボールで観察対象を視野中心へ移動
  9. 焦点合わせ(粗)
    1. [PANEL-R : STD FOCUS] 基準電流呼び出し
    2. [PANEL-R : Z△▽] 試料高さ(Z)調整:最もコントラストを低くする
  10. 対物レンズ非点補正
    1. 中倍
      1. 膜穴付近を観察(x20K~)

        ビームをセンタリングし観察しやすい明るさに調整しておく。

      2. [PANEL-L : DEF/STIG : OBJ STIG] 対物レンズ非点調整モード選択
      3. [PANEL-R : OBJ FOCUS] 過焦点にしてフレネルフリンジを表示
      4. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y] フレネルフリンジが等方的になるように調整
    2. 高倍
      1. 非晶質領域(支持膜など)を観察(x100K~)

        ビームをセンタリングし観察しやすい明るさに調整しておく。

      2. [PANEL-L : DEF/STIG : OBJ STIG] 対物レンズ非点調整モード選択
      3. [PANEL-R : OBJ FOCUS] &[PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]
        1. 過焦点<>不足焦点で像が流れることを確認
        2. 像の流れが最小となる様に調整
  11. 対物絞り挿入(必要な場合)
    1. (簡易)
      1. [OLA/HCA]対物絞り(インギャップorハイコントラスト)を挿入
      2. [OLA/HCA]対物絞りのセンタリング
    2. (推奨)
      1. [SA] 制限視野絞りを挿入・センタリング
      2. [PANEL-R : Function : DIFF] 回折モードへ:電子回折表示
      3. [OLA/HCA]対物絞り(インギャップorハイコントラスト)を挿入し透過波を選択
      4. [PANEL-R : Function : MAG1] 像観察モードへ戻る
      5. [SA]制限視野絞りを引き抜く
  12. 焦点合わせ(精密)
    1. [PANEL-R : OBJ FOCUS] 正焦点付近の見やすい焦点に調整する
      1. 正焦点(ジャストフォーカス):膜孔の輪郭のコントラスト最小
      2. 過焦点(オーバーフォーカス):Focusを正焦点から時計方向へ
      3. 不足焦点(アンダーフォーカス):Focusを正焦点から反時計方向へ

      💡 コントラストの低い試料は正焦点では不鮮明になるので、やや不足焦点に設定する。

  13. (撮影)
    1. [スクリーン] CCDカメラ撮影用に倍率を下げる。
    2. [スクリーン] 明るさを調整する
    3. CCDカメラで像を表示し、フォーカスと明るさを調整する
    4. 撮影する