JEM-2100plus：対物レンズ非点補正（FFT）

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Thonの曲線：非晶質からの位相コントラスト(グラニュラ構造)は焦点はずし量を変えると顕著に変化する。位相コントラストが球面収差と焦点はずし量によって決まることを利用して、波の位相が合う空間周波数(強調される間隔)が焦点はずし量と共にどう変化するかを表す曲線。（JEOL-透過電子顕微鏡 基本用語集）

  1. TEMモードで非晶質部分を表示する。
    1. SPOT SIZE：2 / α：2
    2. （支持膜・ダメージ層・最表面）
    3. 倍率はｘ200K程度
    4. 焦点合わせをすませつ（STD Focus　＋　高さ調整）
    5. 対物絞りは抜いておく
    6. ビームをスクリーンと同程度い広げておく
  2. CCDカメラで像を表示する
    1. View : Exposure 0.1 sec : binning 2
  3. 非点補正
    1. [DM : Process : Live : FFT] FFTパワースペクトル表示
    2. [Panel-R : Obj Focus] フォーカスを大きく動かす
      1. 同心円状のThon 曲線が表示される
        1. Thon曲線が楕円となる位置にFocusを動かす。
        2. 焦点はずし量が大きいとThon曲線の間隔が短くなる（多くの曲線が現れる）
    3. [PANEL-L : DEF/STIG :　OBJ STIG] 対物レンズ非点調整モード選択
    4. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]　Thon曲線を真円に近づける

💡 Thon曲線は非晶質の位相コントラストが観察できていることが前提。