💡 本日の内容
- 試料汚染防止装置(ACD)
💡 集束ビームを使用する場合(STEM/EDS)やその場観察におけるコンタミ防止。 LN2コールドフィンガーで試料周辺のガスをトラップする。
- LN2補給
- ACDヒート
💡 真空度を上げるためではなく、あくまでもコンタミ対策。
- アライメントファイル
💡 偏向系設定の復元・保存。
- 設定ファイル読み込み
- 設定ファイル保存
- 特殊像観察
💡 基本的なTEM像の表示
- 明視野像(復習)
💡 (小さい)対物絞りで光軸上の透過波を選択して結像
- 通常の像観察(スクリーン)
- 明視野像表示
- 制限視野絞り挿入/SA絞りセンタリング
- 回折パターン表示/透過波センタリング(PL)
- 対物絞り挿入/OLセンタリング
- 明視野像表示/倍率/明るさ調整
- CCD観察/撮影
- 暗視野像(軸上)
💡 Beam Tlitで光軸上へ移動させた回折波を、対物絞りで選択して結像
- SA-DIFF表示(スクリーン)
- 透過波センタリング(PL)
- DarkTilt:回折スポット->スクリーン中央へ (Dark Tilt)
- 対物絞り挿入/OLセンタリング
- 暗視野像表示/倍率/明るさ調整
- CCD観察/撮影
- 暗視野像(軸外)
💡 光軸外の回折波を、対物絞りで選択して結像
- SA-DIFF表示(スクリーン)
- 対物絞り挿入/回折スポット選択
- 暗視野像表示/倍率/明るさ調整
- CCD観察/撮影
- 明視野像(復習)
- 極微電子回折
💡 電子線を試料上で収束し、微小領域(制限視野絞りのサイズ以下)からの電子回折パターンを取得
- 簡易的方法
- 通常のTEM照射モードにおいて、小さなCL絞りとスポットサイズを選択し、試料上にビームを集束。
- NBD/CBD
- 専用のプローブ照射モードを用いて、試料上にビームを集束。
- 簡易的方法
- STEM
💡 STEM像の観察と取得
- ハードウェア
- TEM CENTER
- STEM-BF
- STEM-DF