JEM-2100plus：技能講習： 基礎2

概要

• TEMセンター等の機能確認
• 要素毎の機能・操作方法の確認
• スクリーン上で行う観察
  • カメラを使用した観察は次回以降

プログラム

1. 名称・機能確認
   1. TEMセンター
   2. 物理コントローラー類
   3. その他の操作
2. 試料移動
   1. トラックボールによる試料移動（X/Y）
      1. 試料セットの向きとスクリーン上の向きの確認
      2. （MAG/LowMag/倍率変更による像の回転を確認）
      3. おおきく動かした場合にリミットが働くことを確認
   2. 試料傾斜（TILT-X/Y）
      1. 大きく傾けた時の見え方の変化を確認
      2. おおきく動かした場合にリミットが働くことを確認
   3. ピエゾ駆動による試料微動（SFX/SFY）
   4. 試料高さ調整（Z）
      1. ImageX/Y
   5. ステージ初期化
   6. ステージメモリと呼び出し
3. 絞り操作
   1. 制限視野絞り
      1. 像モードで光軸上へ
   2. ハイコントラスト対物絞り
      1. 像モードで光軸上へ
      2. （推奨）DIFFモードで光軸上へ
   3. インギャップ対物絞り
      1. 像モードで光軸上へ
      2. （推奨）DIFFモードで光軸上へ
   4. コンデンサレンズ絞り
      1. 像モードで光軸上へ
         1. 開放不可
         2. （参照）照射系調整
   5. 散乱X線防止絞り
4. 結像系選択
   1. 結像モード（TEM/DIFF）切替
   2. TEM調整
      1. 倍率変更
      2. 詳細－＞像観察（基本）
   3. DIFF　調整
      1. カメラ長変更
      2. 詳細－＞電子回折（基本）
5. 照射系調整
   1. Brightness 調整
      1. ビームを絞ると明るく。広げると暗くなることを確認。　
   2. (センタリング簡易) BeamAlign
      1. 絞ったビームをスクリーン中央にセンタリング
   3. コンデンサレンズ非点補正
   4. SPOTサイズ／α選択
   5. 集束レンズ軸合せGunAlign/BeamAlign
   6. GunTilt調整（簡易）
   7. コンデンサ絞りのセンタリング
6. 対物レンズ非点補正
7. 電圧・電流中心合わせ
   1. 電流軸合わせ
   2. 電圧軸合わせ
8. ビーム表示
   1. スクリーンにビームを表示する。エミッションをOnにしてもビームが表示されない場合は以下を確認する。
      1. ビームが発生している－＞Beam Current
      2. 絞りで遮蔽されていない　－＞　対物・制限視野絞りを抜く
      3. 試料で遮蔽されていない　－＞　試料移動・空ホルダ
      4. 適当な倍率とBrightness（Curr. Density）
      5. 照射系の軸調整
9. スクリーン
   1. スクリーンで明るさ調整
      1. 見た目とCurrDensity
      2. (MagLink)
   2. 双眼鏡
   3. スクリーン開閉
10. 像観察（基本）
    • トレーニングはAl蒸着試料を使用する
11. 電子回折（基本）
    • トレーニングはAl蒸着試料を使用する

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初級で行う軸調整

1. 電圧軸調整
2. 電流軸調整
3. 照射系連動比調整
   1. 傾斜調整（Tilt2段偏向調整）
   2. 水平調整（Shift2段偏向調整）