JEM-2100plus：極微電子回折

💡 試料上に電子線を収束し、制限視野絞りよりも狭い領域からの回折パターンを取得する。

NBD/CBD

通常の方法で像を表示。
照射モード変更
1. [PANEL-L:PROBE CONTROL:NBD/CBD]　プローブ照射モードに変更
ビームを絞りセンタリング
1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 蛍光板上でビームを絞る。
2. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 明視野照射モード選択
3. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y]　Beam Shiftでビームを蛍光板中心へ移動する
集束レンズ絞りのセンタリング
1. [PANEL-L : BRIGHTNESS]スクリーンと同程度にビームを広げる
2. [CLA:絞り選択つまみ]集束絞りの径を選択する。
3. [CLA:絞り位置調整つまみ:前後/左右] スクリーン中央に絞りを移動する。
照射系調整1
1. HT Wobbler　On
  1. [TC : Wobbler Controller : HT] または[PANEL-R：HT WOBB]On
  2. 加速電圧が変動し、像が伸縮する
2. 照射系調整(コンデンサミニレンズ)
  1. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 又は [TC : Alignment Panel : Deflector : Bright Tilt ]明視野照射モード選択
  2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y] 　Beam-Tilt＋[PANEL-L/R: Shift-X/Y]　Beam-Shiftで電子線の収斂が蛍光板中心で等方的になるように調整。
3. HT Wobbler　Off
  1. [TC : Wobbler Controller : HT] または[PANEL-R：HT WOBB]　Off
照射系調整2
1. [PANEL-L:PROBE CONTROL:TEM]　TEM照射モードに変更
2. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y]　Beam Shiftでビームを蛍光板中心へ移動する
3. [PANEL-L:PROBE CONTROL:NBD/CBD]　プローブ照射モードに変更
4. 上記を繰り返し、電子線のズレを小さくする
5. [PANEL-L:PROBE CONTROL:TEM]　TEM照射モードに変更
集束レンズ絞りを挿入しセンタリング
測定箇所指定
1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 蛍光板上でビームを絞る。
2. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y]　Beam Shiftでビームを測定箇所へ移動する。
電子回折表示
1. [PANEL-R : Function : SA DIFF] 回折モードへ
2. [PANEL-R : MAG/CAM L] カメラ長設定　
3. スポットセンタリング　
  1. [PANEL-L : DEF/STIG : PLA] 　投影レンズアライメントモード選択
  2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]　透過波を蛍光板中心へセンタリング

簡易的方法

通常の方法でDIFFを表示
1. diff focus を合わせておく
通常の方法で像を表示。
測定箇所にビーム照射
1. [CLA#4(Φ10um)]小さなCL絞りを挿入しセンタリング
2. [PANEL-L : PROBE CONTROL : SPOT SIZE] 5：SPOTサイズを小さく
3. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 蛍光板上でビームを絞る。
4. CLーSTIGを調整
  1. [PANEL-L : DEF/STIG :　COND STIG] コンデンサレンズ非点調整モード選択
  2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]（Cond STIG）ビームが最も絞れるように調整する
5. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y]　Beam Shiftでビームを測定箇所へ移動する。
  - できるだけビームをスクリーン中央から動かさず、試料を動かす方が良い。
電子回折表示
1. [PANEL-R : Function : SA DIFF] 回折モードへ
2. [PANEL-R : MAG/CAM L] カメラ長設定　
3. スポットセンタリング　
  1. [PANEL-L : DEF/STIG : PLA] 　投影レンズアライメントモード選択
  2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]　透過波を蛍光板中心へセンタリング