JEM-2100plus：照射系連動比調整

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傾斜調整（Tilt2段偏向調整）

💡 入射電子を傾斜（Beam-Tilt）しても位置が動かないように集束レンズ偏向コイルの連動比を調整する。

  1. [PANEL-R : Function : MAG1]像観察モード中
  2. [PANEL-R : MAG/CAM L] 倍率設定　適当な倍率（例：x40K）
  3. ビームセンタリング
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS]ビームを集束する。
    2. [PANEL-L : SHIFT : BRIGHT TILT] 又は [TC : Alignment Panel : Deflector : Bright Tilt ]明視野照射モード選択
    3. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y] ビームを蛍光板中心に移動する。
  4. Tilt2段偏向調整モード選択
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Alignment Panel
      1. Alignment Panel (for JEM Administrators) が表示される。
    2. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Tilt2段偏向調整モード選択
  5. Tilt-X Wobbler on
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Wobbler
      1. Wobbler Controller (for JEM Administrators) 　が表示される
      2. [TC: Wobbler Controller : Tilt-X] On
  6. Tilt-X2段偏向調整
    1. 電流比（Tilt-barance）の調整が不十分の場合：ビームがX方向に分かれる
      1. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X]　2つに分かれたビームを一つに重ね合わせる。
    2. 電流比（Angle-barance）の調整が不十分の場合：ビームがY方向に分かれる
      1. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Angle2段偏向調整モード選択
      2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X]　2つに分かれたビームを一つに重ね合わせる。
      3. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Angle2段偏向調整モード　Off
  7. Tilt-X Wobbler off
    1. [TC: Wobbler Controller : Tilt-X] Off
  8. ビームセンタリング（必要な場合）
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS]ビームを集束する。
    2. [PANEL-L : SHIFT : BRIGHT TILT] 又は [TC : Alignment Panel : Deflector : Bright Tilt ]明視野照射モード選択
    3. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y] ビームを蛍光板中心に移動する。
  9. Tilt-Y Wobbler on
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Wobbler
      1. Wobbler Controller (for JEM Administrators) 　が表示される
      2. [TC: Wobbler Controller : Tilt-Y] On
  10. Tilt-X2段偏向調整
    1. 電流比（Tilt-barance）の調整が不十分の場合：ビームがY方向に分かれる
      1. [PANEL-L/R: DEF/STIG-Y]　2つに分かれたビームを一つに重ね合わせる。
    2. 電流比（Angle-barance）の調整が不十分の場合：ビームがX方向に分かれる
      1. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Angle2段偏向調整モード選択
      2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-Y]　2つに分かれたビームを一つに重ね合わせる。
      3. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Angle2段偏向調整モード　Off
  11. Tilt-Y Wobbler off
    1. [TC: Wobbler Controller : Tilt-Y] Off
  12. ビームセンタリング（必要な場合）
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS]ビームを集束する。
    2. [PANEL-L : SHIFT : BRIGHT TILT] 又は [TC : Alignment Panel : Deflector : Bright Tilt ]明視野照射モード選択
    3. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y] ビームを蛍光板中心に移動する。

水平調整（Shift2段偏向調整）

💡 試料上のカウスティックスポットを移動（Beam-Shift）した際にビームが傾斜しないように集束レンズ偏向コイルの連動比を調整する。

  1. [PANEL-R : Function : DIFF]電子回折モード中
  2. [PANEL-R : MAG/CAM L] カメラ長設定　適当なカメラ長倍率（例：80cm）
  3. Brightness調整
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 時計方向にまわしきる：ビームを広げる
  4. DIFF Focus調整
    1. [PANEL-R : DIFF FOCUS]　カウスティックスポットを表示する。
  5. Shift2段偏向調整モード選択
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Alignment Panel
      1. Alignment Panel (for JEM Administrators) が表示される。
    2. [TC : Alignment Panel : Compensator : Shift ] Shift2段偏向調整モード選択
  6. Shift-X Wobbler on
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Wobbler
      1. Wobbler Controller (for JEM Administrators) 　が表示される
      2. [TC: Wobbler Controller : Shift-X] On
  7. Shift-X2段偏向調整
    1. 電流比（Shift-barance）の調整が不十分の場合：カウスティックスポットがX方向に分かれる
      1. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X]　2つに分かれたカウスティックスポットを一つに重ね合わせる。
    2. 電流比（Angle-barance）の調整が不十分の場合：カウスティックスポットがY方向に分かれる
      1. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Angle2段偏向調整モード選択
      2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X]　2つに分かれたカウスティックスポットを一つに重ね合わせる。
      3. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Angle2段偏向調整モード　Off
  8. Shift-X Wobbler off
    1. [TC: Wobbler Controller : Shift-X] Off
  9. スポットセンタリング（必要な場合）
    1. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 又は [TC : Alignment Panel : Deflector : Bright Tilt ]明視野照射モード選択
    2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y] 　Beam-Tiltでカウスティックスポットと蛍光板中心が一致するように調整。
  10. Shift-X Wobbler on
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Wobbler
      1. Wobbler Controller (for JEM Administrators) 　が表示される
      2. [TC: Wobbler Controller : Shift-X] On
  11. Shift-X2段偏向調整
    1. 電流比（Shift-barance）の調整が不十分の場合：カウスティックスポットがX方向に分かれる
      1. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X]　2つに分かれたカウスティックスポットを一つに重ね合わせる。
    2. 電流比（Angle-barance）の調整が不十分の場合：カウスティックスポットがY方向に分かれる
      1. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Angle2段偏向調整モード選択
      2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X]　2つに分かれたカウスティックスポットを一つに重ね合わせる。
      3. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Angle2段偏向調整モード　Off
  12. Shift-X Wobbler off
    1. [TC: Wobbler Controller : Shift-X] Off
  13. スポットセンタリング（必要な場合）
    1. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 又は [TC : Alignment Panel : Deflector : Bright Tilt ]明視野照射モード選択
    2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y] 　Beam-Tiltでカウスティックスポットと蛍光板中心が一致するように調整。
  14. Shift-Y Wobbler on
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Wobbler
      1. Wobbler Controller (for JEM Administrators) 　が表示される
      2. [TC: Wobbler Controller : Shift-Y] On
  15. Shift-Y2段偏向調整
    1. 電流比（Shift-barance）の調整が不十分の場合：カウスティックスポットがY方向に分かれる
      1. [PANEL-L/R: DEF/STIG-Y]　2つに分かれたカウスティックスポットを一つに重ね合わせる。
    2. 電流比（Angle-barance）の調整が不十分の場合：カウスティックスポットがX方向に分かれる
      1. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Angle2段偏向調整モード選択
      2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-Y]　2つに分かれたカウスティックスポットを一つに重ね合わせる。
      3. [TC : Alignment Panel : Compensator : Tilt ] Angle2段偏向調整モード　Off
  16. Shift-Y Wobbler off
    1. [TC: Wobbler Controller : Shift-Y] Off
  17. スポットセンタリング
    1. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 又は [TC : Alignment Panel : Deflector : Bright Tilt ]明視野照射モード選択
    2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y] 　Beam-Tiltでカウスティックスポットと蛍光板中心が一致するように調整。