💡 本ページはJEM-2100plusのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。
💡 TEMモードに於けるモード(Function)変更と設定 第1中間レンズの励磁を切り替えて、表示する像・回折パターンを選択する。
像観察モード(MAG)
💡 通常の拡大像を表示する結像モード (x2000)x8000 ~ x600K x2000~6000 はレンズ構成が異なる(対物ミニレンズon)ため軸がズレ易い
- [PANEL-R : FUNCTION : MAG1(MAG2)] モード変更
- MAG1は以前に選択された倍率が記憶される。MAG2はプリセット値が呼び出される。
- SA絞り引抜き(必要な場合)
- プローブ選択(必要な場合)
- [PANEL-L:PROBE CONTROL ] 照射モード:TEM
- [PANEL-L:PROBE CONTROL : αSELECTOR] 通常:2
- [PANEL-L:PROBE CONTROL : SPOT SIZE] 通常:2
- [PANEL-R:MAG/CAM L] 倍率選択
- [PANEL-L:BRIGHNESS] 明るさ調整
- フォーカス
- [PANEL-R:STD FOCUS] 対物レンズ基準電流呼び出し
- [PANEL-SC:▽△]試料高さ合わせ(Z調整)
- [PANEL-R:OBJ Focus] 対物レンズ焦点合わせ
- 視野探しをおこなう。
- 撮影を行う場合はその都度以下の項目を実施する。
- 撮影条件の設定
- 非点収差補正
- 焦点合わせ
- 撮影を行う場合はその都度以下の項目を実施する。
回折モード(DIFF)
💡 電子回折パターンを表示する結像モード 制限視野電子回折(SAD)・ナノビーム回折(NBD)・収束電子回折(CBD)
- 像観察モードにおいて、観察対象を視野中心へ移動する。
- フォーカス合わせ(推奨)
- 対物レンズ基準電流呼び出し
- 試料高さ合わせ(Z調整)
- 制限視野絞り挿入
- 絞り径選択
- 絞りセンタリング
- 明るさ調整
- できるだけ暗くしておく。(平行ビームに近づける)
- [PANEL-R : FUNCTION : DIFF] モード変更
- 回折パターンが表示される。
- 対物絞り引抜き(挿入されている場合)
- カメラ長選択
- 回折パターンセンタリング
- SPOT ALIGN
- フォーカス合わせ
極低倍率モード(LOW MAG)
💡 極低倍率の像観察モード x30 ~ x5000 対物レンズがOFFになるため、ヒステリシスの影響が大きい。 高倍率での安定した観察を行いたい場合は、使用しない方が良い。
- [PANEL-R : FUNCTION : LAW MAG] モード変更
- SA絞り引抜き(挿入されている場合)
- 対物絞り引抜き(挿入されている場合)
- [PANEL-R:MAG/CAM L] 倍率選択
- [PANEL-L:BRIGHNESS] 明るさ調整
- 電流軸を調整する
- LowMAGモードは原則として粗い視野探しに使用する
- 低倍像の写真が必要な場合はSEMを使用しましょう。
- 非点収差は中間レンズで補正する。(必要な場合)