JEM-2100plus:結像モード選択

💡 本ページはJEM-2100plusのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。

💡 TEMモードに於けるモード(Function)変更と設定 第1中間レンズの励磁を切り替えて、表示する像・回折パターンを選択する。

像観察モード(MAG)

💡 通常の拡大像を表示する結像モード (x2000)x8000 ~ x600K x2000~6000 はレンズ構成が異なる(対物ミニレンズon)ため軸がズレ易い

  1. [PANEL-R : FUNCTION : MAG1(MAG2)] モード変更
    1. MAG1は以前に選択された倍率が記憶される。MAG2はプリセット値が呼び出される。
  2. SA絞り引抜き(必要な場合)
  3. プローブ選択(必要な場合)
    1. [PANEL-L:PROBE CONTROL ] 照射モード:TEM
    2. [PANEL-L:PROBE CONTROL : αSELECTOR] 通常:2
    3. [PANEL-L:PROBE CONTROL : SPOT SIZE] 通常:2
  4. [PANEL-R:MAG/CAM L] 倍率選択
  5. [PANEL-L:BRIGHNESS] 明るさ調整
  6. フォーカス
    1. [PANEL-R:STD FOCUS] 対物レンズ基準電流呼び出し
    2. [PANEL-SC:▽△]試料高さ合わせ(Z調整)
    3. [PANEL-R:OBJ Focus] 対物レンズ焦点合わせ
  7. 視野探しをおこなう。
    1. 撮影を行う場合はその都度以下の項目を実施する。
      1. 撮影条件の設定
      2. 非点収差補正
      3. 焦点合わせ

回折モード(DIFF)

💡 電子回折パターンを表示する結像モード 制限視野電子回折(SAD)・ナノビーム回折(NBD)・収束電子回折(CBD)

  1. 像観察モードにおいて、観察対象を視野中心へ移動する。
  2. フォーカス合わせ(推奨)
    1. 対物レンズ基準電流呼び出し
    2. 試料高さ合わせ(Z調整)
  3. 制限視野絞り挿入
    1. 絞り径選択
    2. 絞りセンタリング
  4. 明るさ調整
    1. できるだけ暗くしておく。(平行ビームに近づける)
  5. [PANEL-R : FUNCTION : DIFF] モード変更
    1. 回折パターンが表示される。
  6. 対物絞り引抜き(挿入されている場合)
  7. カメラ長選択
  8. 回折パターンセンタリング
    1. SPOT ALIGN
  9. フォーカス合わせ

極低倍率モード(LOW MAG)

💡 極低倍率の像観察モード x30 ~ x5000 対物レンズがOFFになるため、ヒステリシスの影響が大きい。 高倍率での安定した観察を行いたい場合は、使用しない方が良い。

  1. [PANEL-R : FUNCTION : LAW MAG] モード変更
  2. SA絞り引抜き(挿入されている場合)
  3. 対物絞り引抜き(挿入されている場合)
  4. [PANEL-R:MAG/CAM L] 倍率選択
  5. [PANEL-L:BRIGHNESS] 明るさ調整
  6. 電流軸を調整する
  • LowMAGモードは原則として粗い視野探しに使用する
  • 低倍像の写真が必要な場合はSEMを使用しましょう。
  • 非点収差は中間レンズで補正する。(必要な場合)

制限視野倍率選択モード(SA MAG)