JEM-2100plus：絞り操作

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💡 本ページはJEM-2100plusのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。

💡 各種絞りの操作

集束絞り

  1. [PANEL-R : Function : MAG1]像観察モード
  2. [PANEL-R : STD FOCUS]　対物レンズ基準電流呼び出し
    1. 念のため
  3. [PANEL-R : MAG/CAM L] 倍率設定　（ｘ20～50K程度）
  4. ビームセンタリング
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 蛍光板上でビームを絞る。（クロスオーバー）
    2. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 明視野照射モード選択
    3. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y]　Beam Shiftでセンタリング
  5. [PANEL-L : BRIGHTNESS]スクリーンと同程度にビームを広げる
  6. [CLA:絞り選択つまみ]集束絞りの径を選択する。
  7. [CLA:絞り位置調整つまみ:前後/左右] スクリーン中央に絞りを移動する。
  8. BRIGHTNESS を変化させた時に、ビームが同心円状に変化することを確認。
    1. レンズのヒステリシス由来でクロスオーバーを表示させた時の位置がずれる為、高倍率で厳密に追い込む必要はない

制限視野絞り

  1. [PANEL-R : Function : MAG1]像観察モード
    1. [OLA/HCA]対物絞りが挿入されている場合は開放する。
  2. [SA:絞り選択つまみ]制限視野絞りの径を選択する。
  3. [SA:絞り位置調整つまみ:前後/左右] スクリーン中央に絞りを移動する。

対物絞り（HC：ハイコントラスト）

  1. 簡易
    1. [PANEL-R : Function : MAG1]像観察モード
    2. [HCA:絞り選択つまみ]制限視野絞りの径を選択する。
    3. [HCA:絞り位置調整つまみ:前後/左右] スクリーン中央に絞りを移動する。
      • 像の明暗が反転する場合は透過波が選択されていないので、以下の手順を行う
  2. 推奨
    1. 電子回折パターンを表示
      1. （参照）制限視野絞り
      2. [PANEL-R : Function : SA DIFF]回折モード
    2. [HCA:絞り選択つまみ]ハイコントラスト絞りの径を選択する。
    3. [HCA:絞り位置調整つまみ:前後/左右] 透過波を選択する。
    4. [PANEL-R : Function : MAG1]像観察モードに戻る

対物絞り（インギャップ）

  1. 簡易
    1. [PANEL-R : Function : MAG1]像観察モード
    2. 電動対物絞りを挿入する
      1. [PANEL-L：APERTURE CONTROL：OL] 本装置の構成では常に選択されている
      2. [PANEL-L：APERTURE CONTROL：OPEN/1/2/3/4] 制限視野絞りの径を選択する。
    3. [PANEL-L：APERTURE CONTROL：◁▷▽△] スクリーン中央に絞りを移動する。
      • 像の明暗が反転する場合は透過波が選択されていないので、以下の手順を行う
  2. 推奨
    1. 電子回折パターンを表示
      1. （参照）制限視野絞り
      2. [PANEL-R : Function : SA DIFF]回折モード
    2. 電動対物絞りを挿入する
      1. [PANEL-L：APERTURE CONTROL：OL] 本装置の構成では常に選択されている
      2. [PANEL-L：APERTURE CONTROL：OPEN/1/2/3/4] 制限視野絞りの径を選択する。
    3. [PANEL-L：APERTURE CONTROL：◁▷▽△] 透過波を選択する。
    4. [PANEL-R : Function : MAG1]像観察モードに戻る

💡 試料を大きく傾斜している場合は絞りを挿入できない場合がある。

HX絞り（散乱 X 線防止絞り）

[HX：選択つまみ]　で挿入・開放を選択する

💡 EDS使用時