JEM-2100plus：試料汚染防止装置

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💡 安全

💡 各部局等で寒剤・高圧ガスに関する安全教育を受講しておいてください。

💡 ACD使用時の試料ホルダの挿抜は特に注意すること。

冷媒（LN2)補給

  1. LN2の準備
    1. 装置使用前日までに管理者に依頼し、LN2容器を準備してもらう。
  2. 事前確認
    1. 窒素注入前に鏡筒が十分に高真空であること
      1. SIP:5×10-5Pa以下
    2. ACDタンクの絶縁不良がないこと
      1. 設置確認スイッチを押したときにランプが明灯しないこと。（ランプは通常でも暗灯しているので注意）
      2. ヒーターが接続されている場合は取り外して確認すること
  3. LN2注入
    1. 養生
      1. 観察窓に蓋をする。
      2. ACDタンクの下部にある機器類を気泡緩衝材（プチプチ）でカバーする。
    2. ACDタンクからキャップを取り外し、ロートを挿入する。
    3. ステンレス製容器を床に置く。

      💡 樹脂製のテーブル等は、LN2注入時に損傷する場合がある

    4. LN2容器からステンレス製容器にLN2を注ぐ。（1L程度）
    5. ステンレス製容器からACDタンクにLN2を注ぐ。
    6. 15分程度待つ（ACDタンクが冷却される）
    7. ACDタンクにLN2を追加する。
    8. キャップをかぶせる。

💡 注意

ACDヒート

  1. 加速電圧を停止する。
  2. 養生（LN2からの保護）
    1. 観察窓に蓋をする。
    2. ACDタンクの下部にある機器類を気泡緩衝材（プチプチ）でカバーする。
  3. ACDタンクのキャップを外す。
  4. ヒーターを冷媒注入口に挿入する。
    1. プラグをソケットに接続する。
  5. 絞りを全て抜く
  6. ACDヒート
    1. [TC : Control : Maintenance : ACD]　ACDコントローラー表示
    2. [ACD Controller : ACD Heat : On]　ACDヒート開始
    3. ヒーターが加熱され、SIPが停止し鏡筒がDP排気となる。
  7. 自動的に終了
    1. 鏡筒がSIP排気に戻る。