JEM-2100plus：STEM-BF/DF

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💡 本ページはJEM-2100plusのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。

STEM-BF

  1. TEMモードで通常の像を表示する。
    • 対物絞り、制限視野絞りはOPEN
  2. SCAN(STEM)モードに切り替える
    • [TC: TEM System Task Bar : Illumination System ] [SCAN]ボタンクリック
  3. 明視野像検出器（鏡筒右側）を鏡筒に挿入する。
  4. 観察窓に蓋をする。
  5. 操作像表示
    1. [TC: TEM System Task Bar : Image Forming System: Image Selector : BF ]　BF検出器選択
    2. [TC: TEM System Task Bar : Image Forming System: Camera Length ] カメラ長設定
      • カメラ長を長くするとコントラストが上がる
    3. [TC:STEM Image Viewer : Preset Mode : Search Mode] スキャン速度選択（高速）
  6. 輝度・コントラスト調整
    1. (必要な場合)[TC : 上部メニュー : View : Histgram] ヒストグラム表示
    2. [TC: STEM Image Viewer : Contrast ] コントラスト調整
    3. [TC: STEM Image Viewer : Brightness ] 輝度調整

    💡 自動調整

  7. 高さ調整
    1. [PANEL-R : STD FOCUS]　基準電流呼び出し
    2. [PANEL-R : Z△▽]　試料高さ（Z）調整：最もシャープな像を得る。
      1. 合わせにくい場合は倍率を下げる
  8. 焦点合わせ・非点補正
    1. [PANEL-R:OBJ Focus]　焦点合わせ
    2. [PANEL-L : DEF/STIG :　COND STIG] 集束レンズ非点調整モード選択
    3. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]　像の流れが最小になるように調節
    4. [TC:STEM Image Viewer : Preset Mode : Focus Mode] スキャン速度選択（焦点合わせ用）
    5. a-cを繰り返し最もシャープな像を得る
  9. 撮影
    1. [TC:STEM Image Viewer : Preset Mode : Photo Mode] スキャン速度選択（撮影用：低速）
    2. [TC:STEM Image Viewer ] Capture Single
  10. 終了（TEMモードへ切り替え）
    1. [TC: TEM System Task Bar : Illumination System ] [TEM]ボタンクリック
    2. 検出器を引き抜く

STEM-DF

  1. TEMモードで通常の像を表示する。
    • 対物絞り、制限視野絞りはOPEN
  2. SCAN(STEM)モードに切り替える
    1. [TC: TEM System Task Bar : Illumination System ] [SCAN]ボタンクリック
    2. [TC: TEM System Task Bar : Image Forming System: Image Selector : DF ]　DF検出器選択
    3. [TC: TEM System Task Bar : Image Forming System: Camera Length ] カメラ長設定（10 or 20cm）
  3. Ronchigram 調整
    1. スクリーン作業
      1. [TC: Image Forming System: Ronchigram Mode : On ]　Ronchigram　モードOn（SCAN停止）
      2. [CLA#1(φ150um)]　挿入 センタリング

        💡 Ronchigram 中心に対して絞りの中心を合わせる

    2. カメラ作業
      1. [GMS : TEM Imaging : View] (Exposure : 0.1sec) カメラ挿入・表示
      2. [PANEL R : F4] スクリーン開
      3. Ronchigram センタリング
        1. [PANEL-L : DEF/STIG : PLA] 　投影レンズアライメントモード選択
        2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]　透過波を蛍光板中心へセンタリング

        💡 スクリーン中心に対してRonchigram の中心を合わせる。

      4. [CLA＃3 (φ50um)]挿入 センタリング

        💡 スクリーン中心に対してRonchigram の中心とCLAの中心を合わせる。

      5. [TC: Image Forming System: Ronchigram Mode : Off ]　Ronchigram　モードOn（SCAN開始）
      6. [GMS : TEM Imaging : View] カメラ停止
  4. 観察窓に蓋をする。
  5. 暗視野像検出器（鏡筒左側）を鏡筒に挿入する。
  6. 操作像表示
    1. [TC: TEM System Task Bar : Image Forming System: Camera Length ] カメラ長設定
    2. [TC:STEM Image Viewer : Preset Mode : Search Mode] スキャン速度選択（高速）
  7. 輝度・コントラスト調整
    1. (必要な場合)[TC : 上部メニュー : View : Histgram] ヒストグラム表示
    2. [TC: STEM Image Viewer : Contrast ] コントラスト調整
    3. [TC: STEM Image Viewer : Brightness ] 輝度調整

    💡 自動調整

  8. 高さ調整
    1. [PANEL-R : STD FOCUS]　基準電流呼び出し
    2. [PANEL-R : Z△▽]　試料高さ（Z）調整：最もシャープな像を得る。
      1. 合わせにくい場合は倍率を下げる
  9. 焦点合わせ・非点補正
    1. [PANEL-R:OBJ Focus]　焦点合わせ
    2. [PANEL-L : DEF/STIG :　COND STIG] 集束レンズ非点調整モード選択
    3. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]　像の流れが最小になるように調節
    4. [TC:STEM Image Viewer : Preset Mode : Focus Mode] スキャン速度選択（焦点合わせ用）
    5. a-cを繰り返し最もシャープな像を得る
  10. 撮影
    1. [TC:STEM Image Viewer : Preset Mode : Photo Mode] スキャン速度選択（撮影用：低速）
    2. [TC:STEM Image Viewer ] Capture Single
  11. 終了（TEMモードへ切り替え）
    1. [TC: TEM System Task Bar : Illumination System ] [TEM]ボタンクリック
    2. 検出器を引き抜く