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昇圧:160kV(スタンバイ)ー>200kV(運転)
- 加速電圧がスタンバイ状態(160kV)かつ暗電流(電子線停止時のBeam Current) が80±2uAであることを確認する。
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Beam
- Beam Controller (for JEM Administrators) を表示
- HT Voltage / Current HT: を確認 (160kV)
- Filament / Beam Current HT: を確認 (80±2uA)
- 放電を避けるため、ゆっくり昇圧する
- [TEM Center:上部メニュー] Application → HT Scheduling
- Liner Step において昇圧条件を設定
- Step Volt = 0.1kV, Interval Time = 3s
降圧:200kV(運転)ー>160kV(スタンバイ)
- 加速電圧を160kV(スタンバイ状態)に設定する
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Beam
- Beam Controller (for JEM Administrators) を表示
- HT Voltage :[160]を選択
- Filament / Beam Current HT: を確認 (80±2uA)