JEM-2100plus 試料クリーニング

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💡 本ページはJEM-2100plusのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。

  1. 注意事項
    1. クリーニング対象
      1. STEM/EDSを行う場合
      2. 電解研磨試料
      3. 溶媒分散試料（微粒子等）
      4. 長期間保存した試料
    2. 不安定な放電・長時間のクリーニングでダメージが生じる場合有り
  2. クリーニング手順
    1. イオンクリーナーからダミープラグを抜く
    2. イオンクリーナーへ試料ホルダを挿入する
    3. クリーニング時間をセットする。
      • Timer（右側つまみ）：通常10分
    4. イオンクリーナーの電源On
      1. 真空引き開始
      2. 自動的に放電開始
    5. 放電電圧をセットする
      • V ADJ（左側つまみ）:300～310V程度
      • 低すぎると放電せず、高すぎるとプラズマが不安定
    6. クリーニングが終了すると放電が停止する。
      • 真空引きは継続
    7. イオンクリーナーの電源Off
      1. 大気リークする（しばらく待つ）
    8. ホルダを取り出す
    9. ダミープラグを挿入する。