💡 試料・試料ホルダは破損しやすい為、丁寧に取り扱うこと。
試料取り付け
- 準備
- 試料ホルダー台をデジタル顕微鏡(もしくは実体顕微鏡)下に設置する。
- 工具類を作業しやすい位置にまとめておく。
- ピンセット
- 精密ピンセット
- 真空ピンセット
- 専用ドライバー
- シリコンマット(試料一時置き場)
- デジタル顕微鏡の電源をOnにし、試料交換台にフォーカスを合わせておく。
- 試料準備
- 試料の状態
- 十分に乾燥していること。(真空を悪化させ無い為)
- 十分固定されていること。(鏡筒内で破損しないため・観察中にドリフとしない為)
- 磁化が小さいこと(対物レンズの磁界の影響を受けないようにするため)
- 観察対象部位周辺が十分に薄い(100nm以下)と考えられること。
- 試料を取り出し、シリコンマット上に仮置きしておく。
- ホルダ搭載時に取り扱いやすいようにしておく。
- 薬包紙等においてもよい。
- グリッドケースから直接取り出してもよい。(精密ピンセット使用時)
- ホルダ搭載時に取り扱いやすいようにしておく。
- 試料の状態
- ホルダ準備
- 使用するホルダをホルダステーションから取り出す。(ここでは1軸ホルダ)
- ホルダステーションの電源On
- バルブOpen
- 大気リークされるまで待つ。
- ホルダ取り出し。
- 試料ホルダー台にホルダをセットする。(ホルダ先端を試料交換台に載せる)
- ホルダサポートのネジでホルダを固定する。
- ホルダステーションの真空引き
- ダミープラグ/もしくはホルダを挿入
- [EVAC]ボタンを押す
- TMP MONITORを確認
- ACC が点灯する
- RUNNING が点灯するまで待つ。
- TMP MONITORを確認
- バルブClose
- ホルダステーションの電源Off
- 使用するホルダをホルダステーションから取り出す。(ここでは1軸ホルダ)
- 試料搭載
- 試料カートリッジ(ホルダ先端)取り外し
- カートリッジ取り外し工具で固定を解除し、
- ピンセットでカートリッジをとりはずし、
- シリコンマット上に仮置きする。
- 専用ドライバーで固定ネジを緩める(3回転)。
💡 回しすぎるとネジが外れる。 十分緩めないと、プレート押さえバネが動かない。
- 精密ピンセットで試料押さえプレートを回転させる。
- 試料をホルダ先端に載せる。
- (観察面を下向き)
- 精密ピンセットで試料押さえプレートを試料の上へ回転させる。)
- 専用ドライバーで固定ネジを締める。(2箇所)
💡 強く締めすぎないこと。(丁度の強さ) 緩んでいないこと
- 試料カートリッジ(ホルダ先端)取り付け
- カートリッジ取り外し工具で固定を解除し、
- ピンセットでカートリッジをとり取り付ける。
- 試料カートリッジ(ホルダ先端)取り外し
試料取り外し
💡 試料取り付けと逆の手順
- 鏡筒から試料ホルダを引き抜く
- 試料ホルダー台にホルダをセットする。(ホルダ先端を試料交換台に載せる)
- ホルダサポートのネジでホルダを固定する。
- 試料取り外し
- 試料カートリッジ(ホルダ先端)取り外し
- シリコンマット上へ仮置き
- 専用ドライバーで固定ネジを緩める(3回転)。
- 精密ピンセットで試料押さえプレートを回転させる。
- 試料を取り外す。
- 取り外した試料はケースに戻しておく
- 精密ピンセットで試料押さえプレートを元の位置に戻す。
- 専用ドライバーで固定ネジを締める。(2箇所)
- 試料カートリッジ(ホルダ先端)取り付け
- 試料カートリッジ(ホルダ先端)取り外し
- ホルダステーションにホルダを戻す。
- ホルダステーションの電源On
- バルブOpen
- 大気リークされるまで待つ。
- ダミープラグを抜く。
- ホルダを挿入する
- ホルダステーションの真空引き
- ダミープラグ/もしくはホルダを挿入
- [EVAC]ボタンを押す
- TMP MONITORを確認
- ACC が点灯する
- RUNNING が点灯するまで待つ。
- TMP MONITORを確認
- バルブClose
- ホルダステーションの電源Off