- ホルダ引抜き前確認
- 電子線を停止する。
- (参照)電子線発生・停止(基礎)
- [EDSコントローラー]
- EDS検出器を退避させる(EDSを使用した場合)
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Stage
- Stage Controllerを表示
- ステージ位置・傾斜を初期化
- [Stage Neutral]をクリックしてステージ一初期化
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Aperture
- Aperture Panel Controllerを表示
- インギャップ対物レンズ絞りを引き抜く
- Hole Diameter Selectで[OPEN]を選択
- 電子線を停止する。
- ホルダ引抜き
- ホルダ引抜き(予備排気室まで)
- ホルダを真っ直ぐ引く(大きく・止まるまで)
- ホルダを反時計回りに回転させる(大きく・止まるまで)
- ホルダを握り直す。
- ホルダを真っ直ぐ引く(小さく・止まるまで・すぐ止まる)
- ホルダを反時計回りに回転させる(小さく・止まるまで・すぐ止まる・まだ引き抜かない・手は添えたまま)
- [ゴニオメーター]
- PUMP/AIRスイッチをAirに切り替える
- N2が導入される。
- N2導入が停止する。予備排気室リーク完了
- ホルダを真っ直ぐ引き抜く
💡 上記の作業では
- ホルダ引抜き(予備排気室まで)