- ホルダ挿入前確認(TEM本体)
- 試料ホルダが挿入されていない
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Beam
- Beam Controller (for JEM Administrators) を表示
- 加速電圧・エミッションを確認
- [TEM Center:上部メニュー] View → Valve/Vacuum Monitor
- Valve/Vacuum Monitor を表示
- 真空度を確認
- [TEM Center:上部メニュー] View → Condition Monitor
- Condition Monitorを表示
- アラームを確認
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Aperture
- Aperture Panel Controllerを表示
- インギャップ対物レンズ絞りを引き抜く
- Hole Diameter Selectで[OPEN]を選択
- [TEM Center:左側TEM System Task Bar] Stage
- ステージ位置・傾斜を確認
- ホルダ挿入前確認(試料・ホルダ)
- 試料確認
- 試料が正しく固定され、動かないこと。
- 試料近傍に皮脂やホコリ等の付着がないこと。
- 必要な場合はイオンクリーニングを行っていること。
- ホルダ確認
- ホルダ先端が破損・変形していないこと。
- Oリングにホコリが付着していないこと。キズがないこと。
- (2軸ホルダーの場合)Y傾斜が0であること。
- TEMセンター上の値と、実際のステージの傾きの両方を確認
- 試料確認
- ホルダ挿入
- ホルダのハンドルと、Oリングの手前を両手でもち、ガイドピンの向きを合わせ、ゴニオメーターに真っ直ぐ挿入する。
- 止まるまで押し込み、手は添えたままににする。
- この位置で、挿入検知用のスイッチが動作する。(回転させると解除されるので、手を動かさないこと)
- ゴニオメーター:PUMP/AIRスイッチをPUMPに切り替える。
- 試料前室が排気される。
- 緑ランプが点灯し、PiG4がEvacReady(緑色)になるまで待つ。
- ホルダを挿入する
- 時計回りにホルダを(小さく)回す。(止まるまで)
- ホルダが引き込まれる。(少し)
- 時計回りにホルダを(大きく)回す。(止まるまで)
- ホルダが(大きく)引き込まれる。(止まるまで手を離さないこと)
- (2軸ホルダの場合)Y軸傾斜用のケーブルを接続する。
💡 上記の作業では
- ホルダを選択する
- ホルダを挿入すると、Specimenペインが表示される。
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Specimen
- Specimen Holderのドロップダウンリストで挿入したホルダを選択する。
- [OK]ボタンをクリック
- ホルダごとにステージの移動・傾斜範囲がことなるため、必ず挿入したホルダを選択する。
- ホルダを挿入すると、Specimenペインが表示される。
- 真空の回復を待つ
- Penning Gauge 20以下
- SIP 10^-5Pa台
- ホルダのハンドルと、Oリングの手前を両手でもち、ガイドピンの向きを合わせ、ゴニオメーターに真っ直ぐ挿入する。