💡 本ページはJEM-2100plusのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。
💡 試料移動と傾斜
試料移動(モーター駆動)(X/Y)
- [TC:TEM System Task Bar : Stage:X/Y] 試料位置確認
- [TC:TEM System Task Bar : Stage] 移動速度選択
- ▶⇒▶▶⇒▶▶▶ の順で速くなる
- [TB:トラックボール] で試料移動
- [TB : SHIFT +X/-X/+Y/-Y]ボタンで各軸毎に独立して移動
- 粗微動(移動速度)切替
- [TB:CRS] で切替。点灯時:粗動
- [TB:CRS] は試料移動(SHIFT-X/Y/Z:TILT-X/Y)・試料傾斜共通
- 試料位置(X/Y)初期化
- [TEM Center:上部メニュー] Control → STAGE
- Stage Controller を表示
- [XY Neutral] を選択
- [TC:TEM System Task Ba : Stager] で確認
試料移動(ピエゾ駆動)(SFX/SFY)
- [TC:TEM System Task Bar : Stage:SFX/SFY] 試料位置確認
- X/Yを基準にした相対位置。~±100%(0.2um)
- [TB:SUPER FINE] ピエゾ駆動モード切替:点灯時On
- [TC:TEM System Task Bar : Stage] 移動速度選択
- ▶⇒▶▶⇒▶▶▶ の順で速くなる
- [TB:トラックボール]もしくは[TB : SHIFT +X/-X/+Y/-Y]で試料移動
- 粗微動(移動速度)切替
- [TB:CRS] で切替。点灯時:粗動
- [TB:CRS] は試料移動(SHIFT-X/Y/Z:TILT-X/Y)・試料傾斜共通
- 試料位置(SFX/SFY)初期化
- [TEM Center:上部メニュー] Control → STAGE
- Stage Controller を表示
- [SuperFIine Neutral] を選択
- [TC:TEM System Task Ba : Stager] で確認
試料傾斜(TX/TY)
- [TC:TEM System Task Bar : Stage:TX/TY] 試料傾斜確認
- [TC:TEM System Task Bar : Stage] 移動速度選択
- ▶⇒▶▶⇒▶▶▶ の順で速くなる
- [SC : TILT +X/-X/+Y/-Y] ボタンで試料傾斜
- 粗微動(移動速度)切替
- [TB:CRS] で切替。点灯時:粗動
- [TB:CRS] は試料移動(SHIFT-X/Y/Z:TILT-X/Y)・試料傾斜共通
- 試料傾斜(TX/TY)初期化
- [TEM Center:上部メニュー] Control → STAGE
- Stage Controller を表示
- [TX/TY Neutral] を選択
- 軸毎に初期化
- [TC:TEM System Task Ba : Stager] で確認
試料移動(Z)
- [TC:TEM System Task Bar : Stage:Z] 試料高さ確認
- [TC:TEM System Task Bar : Stage] 移動速度選択
- ▶⇒▶▶⇒▶▶▶ の順で速くなる
- [SC :△Z/▽Z] ボタンで試料高さ移動
- 粗微動(移動速度)切替
- [TB:CRS] で切替。点灯時:粗動
- [TB:CRS] は試料移動(SHIFT-X/Y/Z:TILT-X/Y)・試料傾斜共通
- 試料傾斜(Z)初期化
- [TEM Center:上部メニュー] Control → STAGE
- Stage Controller を表示
- [Z Neutral] を選択
- [TC:TEM System Task Ba : Stager] で確認
ステージ初期化
- [TEM Center:上部メニュー] Control → STAGE
- Stage Controller を表示
- [Srtage Neutral] を選択
- [TC:TEM System Task Ba : Stager] で確認
ステージ位置記憶・再生
- 試料位置記憶
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Nanospace Map
- Nanospace Mapを表示
- [Memory] ボタンをクリック
- 試料位置記憶リストに現在のホルダ位置が記憶される。
- SFX/SFYは記憶されない
- 必要な場合はMemo欄にコメントを追記
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Nanospace Map
- 試料位置再生
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Nanospace Map
- Nanospace Mapを表示
- 試料位置記憶リストから試料位置を選択
- 試料位置情報表示領域に詳細情報が表示される
- [Go] ボタンをクリック
- 試料位置が再生される。
- 再生が完了するまで待つ。
- 再生中は[TB]や[SC]を操作しない。
- [TEM Center:上部メニュー] Control → Nanospace Map