JEM-2100plus 電子線発生・停止（基礎）

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💡 本ページはJEM-2100plusのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。

電子線発生

  1. 事前確認
    1. 加速電圧・昇圧（必要な場合）（参照）加速電圧設定
    2. 暗電流確認

      💡 （暗電流）Beam Current が100±3（200kV）

    3. ホルダ挿入（参照）試料セット
  2. [TEM Center：上部メニュー] 　View → Valve/Vacuum Monitor
    • Valve/Vacuum Monitor　を表示
    • 真空度を確認
      1. Penning Gauge　20以下
      2. SIP　10^-5Pa台

      💡 真空度が悪い場合は電子線を発生させない フィラメント寿命が短くなる場合があります。

  3. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Beam
    • Beam Controller (for JEM Administrators) を表示

      💡 Filament:[ON]ボタンがグレーアウトしている場合は管理者に連絡。

    • 電子線発生
  4. 電子線確認
    1. スクリーン上に電子線が表示されていることを確認。
      • 電子線が表示されない場合は

      💡 上記を実施しても電子線が表示されない場合は管理者に連絡 （ビームのセンタリング・アライメントを実施）

電子線停止

  1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Beam
    • Beam Controller (for JEM Administrators) を表示
    • 電子線停止
  2. ホルダ引抜き（必要な場合）
  3. 加速電圧・スタンバイ（必要な場合）
    1. Beam Controller /HT Voltageでスタンバイ用電圧（160kV）に設定。