TEMトレーニング項目詳細

トレーニングについて

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codeARM200F-WARM200F-S2100plus2000EXII002B区分項目トレーニング用試料内容詳細備考
B-1-1基本手続き利用者登録装置毎の利用希望形態調査
B-1-2予約システム(サインアップ)予約システムのアカウント作成
B-1-3予約システム(利用申請)利用申請・財源登録
B-1-4予約システム(使用予約)マシンタイム予約・支援依頼について
B-1-5費用利用料金・技術支援料等について
B-1-6ファイルサーバ(サインアップ)データ取り出し用NASユーザー作成と使用方法
B-2-1安全:電離放射線教育訓練放射線発生装置である電子顕微鏡を安全に取り扱うための教育訓練。(推奨)所属部局の教育訓練を受講してください
B-3-1安全:高圧ガス教育訓練試料室のリークやプラズマクリーナーで使用する高圧ガスを安全に取り扱うための教育訓練。所属部局の教育訓練を受講してください
B-4-1安全:寒剤教育訓練試料汚染防止装置(ACD)・EDS検出器で使用する液体窒素を安全に取り扱うための教育訓練。所属部局の教育訓練を受講してください
B-5-1共通設備:装置概要設置室当該装置、周辺機器、設置場所を確認。
B-5-2本体本体の構成要素(鏡筒(照射系・対物レンズ・結像系)・検出器・試料室・制御PC・電源・真空系・冷却系等)
B-5-3周辺機器ホルダステーション・プラズマクリーナー・ガス警報器・空気清浄機・除湿機・エアコン・輻射パネル・磁場キャンセラー・アクティブ除震等
C-2-1試料交換任意(標準試料)試料着脱試料ホルダ(2軸傾斜ホルダ)の取扱い。
精密ピンセット・真空ピンセット・TEMグリッドの取扱い。
最も故障やトラブルの多いポイント
C-2-2ホルダクリーニングイオンクリーナー・プラズマクリーナーの取扱い
C-2-3ホルダ挿抜ホルダ状態確認・ステージ初期化・インギャップ絞り引抜・ホルダ挿入・ホルダ引抜試料室・予備排気について理解する。
C-3a-1共通:開始・中断・終了開始前確認モニタOn,真空度・高圧・エミッション・ステージ・附帯装置確認
C-3a-2終了前確認モニタOFF,真空度・高圧・エミッション・ステージ・附帯装置確認
C-3a-3中断エミッションOFF/ビームバルブ閉
C-3a-4データ取出NAS保存・データ取出用PC保存
C-3a-5ログ記録予約システムの設備ページ
C-3b-1共通:加速電圧昇圧(加速電圧ON)停止若しくはスタンバイ状態から使用加速電圧に昇圧。
アライメントファイル読込
C-3b-2降圧(加速電圧OFF)加速電圧OFF/スタンバイ
C-3c-1共通:エミッションエミッションOn加速電圧確認・暗電流確認・(フラッシング)・エミッションOn
C-3c-2エミッションOff(ビームバルブ閉)・エミッションOFF・暗電流確認
C-3d-1共通:ACDLN2補給ヒーター取り外し・寒剤汲み出し・寒剤補給
C-3d-2ACDヒートヒーター取付・ACDヒート開始
TEM-1-1TEMTEM基礎マイクログリッド・支持膜(Au微粒子)TEMでサンプルを見て状態確認。簡易的に写真も取る。アライメントファイル読み込み
TEM-1-2モード選択
TEM-1-3ビーム出し
TEM-1-4ビーム探し
TEM-1-5倍率変更
TEM-1-6高さ調整
TEM-1-7照射系調整(スポットサイズ・コンデンサ絞り・ブライトネス・センタリング)
TEM-1-8試料移動
TEM-1-9電圧軸合せ
TEM-1-10非点補正
TEM-1-11フォーカス合わせ
TEM-1-12ハイコントラスト絞り
TEM-1-13像観察(カメラ)
TEM-1-14像撮影
TEM-2-1DIFF:基礎単結晶(Si基板)制限視野電子回折・回折パターン撮影制限視野絞り挿入
TEM-2-2モード選択(DIFF)
TEM-2-3カメラ長選択
TEM-2-4スポットセンタリング
TEM-2-5DIFFフォーカス(簡易)
TEM-2-6DIFFフォーカス(平行照射)
TEM-2-7DIFF観察(カメラ)
TEM-2-8DIFF撮影
TEM-3-1DIFF:方位微調整単結晶基板の晶帯軸入射・2波励起(最も近い方位のみ)晶帯軸(スポット)
TEM-3-2晶帯軸(菊池線)
TEM-3-32波
TEM-4-1DIFF方位出し(易)方位出し(単結晶・粗大粒)シミュレーション
TEM-4-2試料傾斜
TEM-5-1DIFF:方位出し(並)多結晶(Au蒸着膜)方位出し(多結晶)試料傾斜(DIFFモード)
TEM-5-2試料傾斜(像モード)
TEM-6-1TEM:BF・軸外DFTEM(明視野法)SAD表示
TEM-6-2対物絞り挿入
TEM-6-3BF像表示
TEM-6-4TEM(暗視野(軸外))軸外DF像表示
TEM-7-1TEM:DF(軸上)TEM(暗視野法)SAD表示
TEM-7-2スポット選択
TEM-7-3対物絞り挿入
TEM-7-4DF像表示
TEM-7-5暗視野撮影(画像積算・長時間露光)
TEM-8-1TEM:HREM単結晶(Si基板)TEM(高分解能法)視野選択
TEM-8-2方位合わせ
TEM-8-3電圧軸合せ
TEM-8-4平行照射/明るさ設定
TEM-8-5非点補正
TEM-8-6フォーカス合わせ
TEM-8-7高分解能像撮影(through-focus)
TEM-9a-1DIFF:NBD多結晶TEM(NBD)視野選択
TEM-9b-1DIFF:CBD単結晶TEM(CBD)視野選択
TEM-10-1TEMコレクタ調整支持膜TEMコレクタ調整
STEM-1-1STEMSTEM基礎Au微粒子設定読込・検出器選択・カメラ長選択・絞り選択・像表示・BF/ADF・中低倍・像記録モード変更
STEM-1-2アライメントファイル読み込み
STEM-1-3カメラ長選択
STEM-1-4ビーム調整(簡易)
STEM-1-5コンデンサ絞り選択
STEM-1-6検出器選択
STEM-1-7像表示
STEM-1-8スキャンローテーション
STEM-1-9高さ調整
STEM-1-10フォーカス・非点合わせ
STEM-1-11像記録
STEM-2-1STEM(高分解能)単結晶(Si基板)STEM(高倍・含ロンチグラム調整)視野選択(TEM)
STEM-2-2方位合わせ(TEM)
STEM-2-3モード変更
STEM-2-4ロンチグラム表示(US)
STEM-2-5方位合わせ
STEM-2-6高さ合わせ
STEM-2-7コマ・非点合わせ
STEM-2-8コンデンサ絞り選択1
STEM-2-9ロンチグラム表示(Orius)
STEM-2-10プローブサイズ選択
STEM-2-11カメラ長選択
STEM-2-12コンデンサ絞り選択2
STEM-2-13検出器選択
STEM-2-14像表示
STEM-2-15スキャンローテーション
STEM-2-16フォーカス・非点合わせ(コレクタ)
STEM-2-17フォーカス・非点合わせ(高精度)
STEM-2-18像記録
STEM-3-1STEM-EDS積層膜点分析・線分析・マッピング視野選択(STEM)
STEM-3-2プローブ調整
STEM-3-3傾斜調整
STEM-3-4EDS-画像取得
STEM-3-5EDS-スペクトル取得
STEM-3-6EDS-点分析・連続点分析
STEM-3-7EDS-マッピング
STEM-3-8EDS-解析
STEM-4-1STEM-EELS単結晶STEM-EELS視野選択(STEM)
STEM-5-10STEMコレクタ調整Au微粒子STEMコレクタ調整

凡例

◎ 必須 ● 推奨 ○ 選択(初級者向け) △ 選択(中級者向け) ▲ 選択(上級者向け) ★ 特殊 ※ 管理者向け – 設定無し