本ページではTEMを操作する上で必要な標準トレーニング項目をまとめています。
本ページに基づいた標準トレーニングは現在準備中であり、内容が変更になる場合があります。
トレーニングと使用許可の概要についてはこちらをご覧ください。
データ解析や像解釈など得られたデータの利用方法についてはサンプルや実験目的ごとに必要となる知識や技能が異なります。
参考:ARIM-IMR チュートリアルシリーズ(透過電子顕微鏡入門と材料科学)
トレーニング項目詳細はこちら
トレーニング区分
- 基本:手続きや安全に関する項目。ガイダンス
- 共通:TEM/STEMを利用するうえで必要な共通項目。
- TEM:TEMモード・電子回折モードを利用するために必要な項目。
- STEM:STEMモードを利用するために必要な項目。
- 特殊:特殊実験
必須技能と選択技能
- 必須技能:装置を安全かつ故障等のトラブルを生じさせずに使用するための技能。
- 選択技能:サンプルや実験目的ごとに選択される技能。
トレーニングの段階「受講」と「修得」
- 受講:トレーニング項目ごとにその内容の説明を受けた段階。
- 修得:トレーニング項目の内容をスタッフの補助なしで実施できることを確認された段階。
装置毎の主なトレーニング項目
# | ARM200F-W | ARM200F-S | 2100plus | 2000EXII | 002B | 項目 | 主な内容 | 備考 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
基本1 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | 手続き | 利用申請:使用予約:予約システム:費用: | |
基本2 | ● | ● | ● | ● | ● | 安全:電離放射線 | 放射線発生装置である電子顕微鏡を安全に取り扱うための教育訓練。(推奨) | 所属部局の教育訓練を受講してください |
基本3 | ◎ | ◎ | ◎ | ● | ● | 安全:高圧ガス | 試料室のリークやプラズマクリーナーで使用する高圧ガスを安全に取り扱うための教育訓練。 | 所属部局の教育訓練を受講してください |
基本4 | ◎ | ◎ | ● | ● | ◎ | 安全:寒剤 | 試料汚染防止装置(ACD)・EDS検出器で使用する液体窒素を安全に取り扱うための教育訓練。 | 所属部局の教育訓練を受講してください |
共通1 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | 設備:装置概要 | 当該装置の構成要素、周辺機器、設置場所を確認。 | |
共通2 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | 試料交換 | 薄膜試料のホルダへの着脱。ホルダ・試料のクリーニング。ホルダの鏡筒への挿抜 | 最も故障やトラブルの多いポイント |
共通3a | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | 共通 | 開始/終了時の状態確認・中断・再開・データ取出・ログ記録 | |
共通3b | ● | ● | ◎ | ● | ● | 共通・加速電圧 | 加速電圧ON/OFF | |
共通3c | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | 共通・エミッション | エミッションOn/OFF | |
共通3d | ◎ | ◎ | ● | ※ | – | ACD | LN2補給・ACDヒート | |
TEM1 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | TEM基礎 | 設定読込・試料移動・ビーム調整・倍率変更・モード選択・像撮影・ | |
TEM2 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | DIFF:基礎 | 制限視野電子回折・回折パターン撮影 | |
TEM3 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | DIFF:方位微調整 | 単結晶基板の晶帯軸入射・2波励起(最も近い方位のみ) | |
TEM4 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | DIFF方位出し(易) | 方位出し(単結晶・粗大粒) | |
TEM5 | △ | △ | △ | △ | △ | DIFF:方位出し(並) | 方位出し(多結晶) | |
TEM6 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | TEM:BF | TEM(明視野法) | |
TEM7 | △ | △ | △ | △ | △ | TEM:DF | TEM(暗視野法) | |
TEM8 | △ | △ | △ | – | △ | TEM:HREM | TEM(高分解能法) | |
TEM9a | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | DIFF:NBD | TEM(NBD) | |
TEM9b | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | DIFF:CBD | TEM(CBD) | |
TEM10 | ※ | – | – | – | – | TEMコレクタ調整 | TEMコレクタ調整 | |
STEM1 | ○ | ○ | ○ | – | ○ | STEM基礎 | 設定読込・検出器選択・カメラ長選択・絞り選択・像表示・BF/ADF・中低倍・像記録 | |
STEM2 | △ | △ | – | – | – | STEM(高分解能) | STEM(高倍・含ロンチグラム調整) | |
STEM3 | ○ | ○ | △ | – | △ | STEM-EDS | 点分析・マッピング | |
STEM4 | ▲ | ▲ | – | – | – | STEM-EELS | STEM-EELS | |
STEM5 | ※ | ※ | – | – | – | STEMコレクタ調整 | STEMコレクタ調整 | |
特殊1 | ★ | ★ | – | – | – | STEMトモグラフィ | ||
特殊2 | – | – | – | ★ | – | 試料加熱(バルク) | ||
特殊3 | ★ | ★ | ★ | – | – | 試料加熱(Prototips) | ||
特殊4 | ★ | ★ | ★ | ★ | – | 試料冷却 |
凡例
◎ 必須 ● 推奨 ○ 選択(初級者向け) △ 選択(中級者向け) ▲ 選択(上級者向け) ★ 特殊 ※ 管理者向け – 設定無し