現在JEM-ARM200F(Wコレクタ)用の強化仕様2軸傾斜Beホルダが故障中です。
修理完了しました。（2024/8/23）
- 試料ステージが外れかけて傾いています。
- Yチルトの回転軸がややズレているような印象
- 現在修理依頼中です
- 原因は不明ですが以下のような可能性が想定されます。
- 経年（約10年）でパーツが劣化した
- 試料の脱着時に試料ステージに強い力が加わった
- ドライバーやピンセットで強く押した
- ホルダを傾斜（特にY軸）したままホルダの挿抜を行った。
- ホルダと対物レンズが干渉した。
- メカリミットアラームが発生している場合（ホルダと対物レンズが接触している）状態で、ホルダを動かした
