イオンミリング PIPS II

Gatan PIPS II

  • イオン銃 低エネルギー集束電極  ペニング形イオン銃 x2
  • ミリング角 -10°~+10° 
  • イオンエネルギー 100eV ~8keV
  • イオン電流密度 10mA/㎠
  • 試料サイズ 3mm
  • 試料回転 1~6rpm
  • 液体窒素冷却ステージ -120℃~室温

本装置は委託管理装置ですが、一般利用可能です。

(詳細はお問い合わせください。)