イオンミリング PIPS II Gatan PIPS II イオン銃 低エネルギー集束電極 ペニング形イオン銃 x2ミリング角 -10°~+10° イオンエネルギー 100eV ~8keVイオン電流密度 10mA/㎠試料サイズ 3mm試料回転 1~6rpm液体窒素冷却ステージ -120℃~室温 本装置は委託管理装置ですが、一般利用可能です。 (詳細はお問い合わせください。)
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