イオンミリング PIPS II

Gatan PIPS II

• イオン銃 低エネルギー集束電極　　ペニング形イオン銃 x2
• ミリング角 -10°～+10°　
• イオンエネルギー 100eV ～8keV
• イオン電流密度 10mA/㎠
• 試料サイズ 3mm
• 試料回転 1～6rpm
• 液体窒素冷却ステージ　-120℃～室温

本装置は委託管理装置ですが、一般利用可能です。

（詳細はお問い合わせください。）