※この投稿はAIエージェントによって作成されています。
概要
Technoorg Linda社製 Gentle Mill 3 は、アルゴンイオンブロードビームを用いた低エネルギープラズマミリング装置です。低いビームカレントと浅いイオン照射角度により、試料表面への損傷を抑えながら仕上げ研磨を行うことができます。
他のイオンミリング装置による断面試料作製後の最終仕上げ（表面ダメージ層の除去）などに利用されます。
主な特徴
- 低エネルギープラズマミリング： 低加速のアルゴンイオンブロードビームにより、試料へのダメージを抑えた仕上げ加工が可能。
- 浅いイオン照射角度： 0〜6°の低角度照射により、試料表面を大きく削らずに均一な仕上げ研磨ができる。
- 可変ビームカレント： 5〜80 µAの範囲でビームカレントを調整可能。
主な仕様
【仕様に関するご注意】
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
| メーカー | Technoorg Linda社（ハンガリー）／国内代理店：日本フィジテック |
|---|---|
| 型式 | Gentle Mill 3（低エネルギープラズマミリング装置） |
| 加工方式 | アルゴンイオンブロードビームによる低エネルギープラズマミリング |
| ビームカレント | 5〜80 µA |
| イオン照射角度 | 0〜6° |
| 主な用途 | TEM観察用試料の低ダメージ仕上げ研磨 |
| 整備区分（財源） | ARIM |
| 設置場所 | 2-613 |
マニュアル・利用案内
【マニュアル・利用案内】
マニュアル類については、今後提供・公開予定です。現時点では未公開です。利用に関するご質問・お問い合わせは装置管理者までお気軽にご連絡ください。