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概要
日本電子製 JEM-ARM200F（STEMコレクター仕様）は、照射系（STEM）に球面収差補正装置（Probe Cs Corrector）を搭載した 200 kV 冷陰極電界放出形（Cold-FEG）原子分解能走査透過電子顕微鏡です。
サブアングストローム幅に精密集束された電子探針により、原子列ごとの高分解能 STEM 像観察（HAADF, ABF, BF）および原子スケールでの微小領域 EDS 元素分析・Gatan Enfinium EELS 分光分析を高速かつ高 S/N 比で実行します。
主な特長
- 照射系球面収差補正（STEM Cs Corrector）： 照射系の球面収差を高度に補正し、大電流かつサブアングストローム径の極細電子探針を形成。原子分解能での像観察および元素マッピングを高精度に実現。
- 冷陰極電界放出形電子銃（Cold-FEG）： 高輝度・低エネルギー拡散の電子線を供給し、高エネルギー分解能での EELS（電子エネルギー損失分光）元素・電子状態分析を強力にサポート。
- 原子スケール微小領域分析（EDS / EELS）： 高感度 EDS 検出器および Gatan Enfinium EELS システムを装備し、局所領域の化学組成および結合状態・電子状態の解析が可能。
- 多機能 STEM チャネル同時検出： HAADF-STEM（Zコントラスト像）、ABF-STEM（軽元素可視化像）、BF-STEM（明視野像）を同時に取得可能。
主な仕様
【仕様に関するご注意】
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
| メーカー | 日本電子株式会社（JEOL Ltd.） |
|---|---|
| 型式 | JEM-ARM200F（STEMコレクター仕様） |
| 電子銃 | 冷陰極電界放出形電子銃（Cold-FEG） |
| 加速電圧 | 200 kV、80 kV |
| 収差補正装置 | 照射系球面収差補正器（Probe Cs Corrector） |
| 分解能 (200 kV) | STEM-HAADF 像分解能：100 pm |
| 最大試料傾斜角 | X軸 ±35° ／ Y軸 ±30° |
| 観察・分析機能 | STEM観察（HAADF / LAADF / ABF / BF）、STEM-EDS元素分析、STEM-EELS（Gatan Enfinium）化学状態分光分析 |
| 設置場所 | 2-B14 |
マニュアル・利用案内
【ARIMデータ登録（公開課題・データ提供あり）】
📄 装置POP・登録必須ファイル案内（PDF）
※文部科学省 ARIM事業の「公開課題（データ提供あり）」でご利用の場合のみ対象です。金研分析枠等でのご利用時は対象外です。全体の案内や他装置のPOPは ARIMデータ登録のご案内 をご確認ください。
【マニュアル（学内限定）】
📄 Gatan Enfinium EELS 取扱説明書（PDF・学内限定）