分析電子顕微鏡 EM-002B

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分析電子顕微鏡 EM-002B 外観

概要

トプコン(Topcon / 旧東京光学)製 EM-002B は、高分解能観察性能と元素分析能力を備えた 200 kV 分析透過型電子顕微鏡(TEM)です。

電子銃に LaB6(六ホウ化ランタン)単結晶フィラメントを採用し、格子分解能 0.14 nm、点分解能 0.18 nm の優れた結像光学系を発揮します。高分解能 TEM 像観察、CCD デジタル画像記録、EDS 元素分析(点分析・マッピング)、STEM 明視野観察(STEM-BF)、およびプリセッション電子回折(PED)解析に対応しています。

ポールピース交換が容易な設計のため、万一磁性体試料が鏡筒内に落下したトラブルが発生しても、鏡筒吊り上げを要せず比較的容易に対処・修復できます。このため磁性体試料(特にバルク材)の TEM 観察に適しており、他の高性能 TEM への導入前のスクリーニング観察用途にも広く活用されています。

主な特長

  • 高分解能結晶構造像観察: 点分解能 0.18 nm、格子分解能 0.14 nm の優れた光学系を備え、原子スケールでの結晶格子像・微細組織観察が可能。
  • 磁性体試料観察に強い設計(ポールピース容易交換): ポールピース(対物レンズ磁極)の交換が容易な構造を採用。磁性体バルク試料の導入時にトラブルが生じても鏡筒吊り上げ不要で比較的容易に修復可能。磁性体試料の観察や他装置導入前のスクリーニングに最適。
  • 多元観察・微小領域分析: CCD カメラ画像記録システム、EDS 元素分析(点分析・面分析マッピング)、STEM 明視野観察(STEM-BF)機能を搭載。
  • プリセッション電子回折(PED)対応: 電子線をプリセッション(歳差)運動させながら照射することで、動力学的効果を低減した高品質な結晶構造解析回折パターンを取得可能。
  • 広範囲試料傾斜ステージ: X軸 ±22°、Y軸 ±18° の高精度傾斜に対応し、結晶方位の正確な位置合わせと回折条件出しをサポート。

主な仕様

【仕様に関するご注意】
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
メーカー トプコン(Topcon Corporation / 旧東京光学機械)
型式 EM-002B(分析電子顕微鏡)
電子銃 六ホウ化ランタン(LaB6)フィラメント
加速電圧 200 kV
分解能 点分解能:0.18 nm (1.8 Å)
格子分解能:0.14 nm (1.4 Å)
最大試料傾斜角 X軸 ±22° / Y軸 ±18°
観察・分析機能 高分解能 TEM 像観察、CCD デジタル像記録、EDS 点分析・元素マッピング、STEM 明視野像観察(STEM-BF)、プリセッション電子回折(PED)
特記事項 ポールピース交換容易設計(磁性体試料・バルク材観察に対応、他装置導入前スクリーニング用途に好適)
設置年度 平成22年度(2010年)
設置場所 1-105

マニュアル・利用案内

【マニュアル(学内限定)】
📄 EM-002B 簡易取扱説明書(PDF・学内限定)