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概要
Thermo Fisher Scientific社製 Quanta 3D は、W(タングステン)電子銃を搭載したSEMと、Gaイオン銃によるデュアルビームFIBを組み合わせた集束イオンビーム加工装置です。SEM/SIM観察を行いながら、TEM観察用薄膜試料の作製などの微細加工に利用されます。
Omniprobeによる試料ピックアップ機能を備え、マイクロサンプリング法によるTEM試料作製に対応しています。
主な特徴
- デュアルビームGa-FIB： SEM(W電子銃)観察とFIB(Gaイオン銃)加工を同一チャンバー内で行い、加工箇所をその場で確認できる。
- Omniprobeによる試料ピックアップ： マイクロサンプリング法によりTEM観察用薄膜試料を作製し、専用グリッドへ移設できる。
- SEM/SIM観察： 二次電子像と二次イオン像の両方の観察モードに対応。
- 保護膜形成： C蒸着・W蒸着によるあらかじめの保護膜形成に対応し、FIB加工時のダメージを低減。
主な仕様
【仕様に関するご注意】
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
| メーカー | Thermo Fisher Scientific社 |
|---|---|
| 型式 | Quanta 3D（デュアルビームFIB-SEM） |
| 電子銃 | W(タングステン)熱電子銃（加速電圧 1〜30 kV） |
| イオン銃 | Gaイオン銃（加速電圧 5〜30 kV） |
| SEM観察モード | SE／SIM |
| 保護膜形成 | C蒸着・W蒸着 |
| 試料ピックアップ | Omniprobe |
| 最大試料サイズ | 直径90 mm |
| 設置場所 | 2-613 |
マニュアル・利用案内
【マニュアル・利用案内】
マニュアル類については、今後提供・公開予定です。現時点では未公開です。利用に関するご質問・お問い合わせは装置管理者までお気軽にご連絡ください。