プラズマクリーナー　Solarus Model 950

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プラズマクリーナー Solarus Model 950 外観

概要

Gatan（ガタン）社製 アドバンスト・プラズマシステム Solarus Model 950 は、電子顕微鏡（TEM/STEM, SEM）の試料および TEM 試料ホルダー先端に付着した炭化水素（ハイドロカーボン）等の微量有機汚染物質を高効率で分解・除去する化学ラジカルプラズマ洗浄装置です。

FEG-TEM や FE-SEM を用いた高分解能観察・極小ビーム分析時の電子線照射に伴うコンタミネーション（汚染物質の堆積・黒ずみ）を強力に防止し、クリアで高品質な像および分光分析データを取得可能にします。

主な特長

  • H2/O2 プラズマによる低ダメージ・強力クリーニング： 従来の Air（空気）や Ar/O2 プラズマに比べ、試片表面への酸化や熱ダメージを極力抑えつつ、有機汚染物質を水蒸気（H2O）・二酸化炭素（CO2）に化学分解して高速除去する H2/O2 混合ガスプラズマを採用。
  • TEM 試料ホルダーの直接ロード対応： フロントポートから JEOL、FEI、Hitachi、Gatan などの TEM 試料ホルダーを先端ごと直接挿入可能。試料とホルダー先端を同時にクリーニング。
  • 多彩な試料形態に対応するトップロードチャンバー： 上部のトップロード式チャンバーにより、SEM 試料、TEM グリッド、各種バルク試料の表面処理にもフレキシブルに対応。
  • カラータッチパネルディスプレイと標準レシピ： 前面タッチパネルにより、TEM ホルダー洗浄・SEM 試料洗浄などのプリセットレシピをワンタッチ起動。カスタムレシピの作成・保存も容易。
  • クリーンな真空システム（オイルフリー）： ターボ分子ドラグポンプ（TMP）とオイルフリーのダイアフラムポンプを内蔵し、コンタミのない清浄な真空環境を実現。

主な仕様

【仕様に関するご注意】
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
メーカー Gatan, Inc.（ガタン社）
型式 Solarus Model 950（Advanced Plasma System）
RF電源 13.56 MHz, 0 〜 50 W
使用ガス種 H2（水素）、O2（酸素）、Ar（アルゴン）3系統マスフロー制御
洗浄対象 TEM 試料、TEM 試料ホルダー先端、SEM 試料、TEM グリッド
操作インターフェース 前面カラータッチパネル液晶ディスプレイ
真空ポンプ ターボ分子ドラグポンプ ＋ オイルフリー多段ダイアフラムポンプ
本体寸法・重量 420 (W) × 570 (D) × 480 (H) mm / 約 36 kg
設置場所 2-B13（ARM200F 部屋等）

マニュアル・利用案内