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概要
日本電子製 JEM-ARM200F（Wコレクター仕様）は、照射系（STEM）および結像系（TEM）の両方に球面収差補正装置（Double Cs Corrector）を搭載した最高峰の 200 kV 冷陰極電界放出形（Cold-FEG）原子分解能分析電子顕微鏡です。
原子スケールでの高分解能 TEM 像観察（格子像 70 pm、粒子像 130 pm）と高分解能 STEM 像観察（HAADF 100 pm, ABF, BF）を1台で実現し、極小領域での EDS 元素分析および Gatan EELS（電子エネルギー損失分光）分析に対応します。
主な特長
- ダブル球面収差補正（Wコレクター）： 照射系と結像系の双方向に Cs コレクターを装備。原子分解能での高精度な TEM 位相像観察と、サブアングストローム径の極小探針による STEM 観察をハイレベルに両立。
- 冷陰極電界放出形電子銃（Cold-FEG）： 高輝度かつエネルギー拡散が極めて小さい電子線を供給し、高分解能 EELS 分析において優れたエネルギー分解能と空間分解能を発揮。
- 多元検出システム（STEM / EDS / EELS）： HAADF（高角散乱環状暗視野）、LAADF、ABF（環状明視野）、BF（明視野）の同時検出に加え、大立体角 EDS 検出器および EELS スペクトロメータを搭載。
- 文部科学省 ARIM 共用設備： 本装置は文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業（旧 ナノテクノロジープラットフォーム）の共用装置として整備されています。
主な仕様
【仕様に関するご注意】
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があります。現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。
| メーカー | 日本電子株式会社（JEOL Ltd.） |
|---|---|
| 型式 | JEM-ARM200F（Wコレクター仕様） |
| 電子銃 | 冷陰極電界放出形電子銃（Cold-FEG） |
| 加速電圧 | 200 kV、80 kV |
| 収差補正装置 | ダブル球面収差補正器（照射系 Cs 補正 ＋ 結像系 Cs 補正） |
| 分解能 (200 kV) | STEM-HAADF 像分解能：100 pm TEM 格子像分解能：70 pm ／ TEM 粒子像分解能：130 pm |
| 最大試料傾斜角 | X軸 ±35° ／ Y軸 ±30° |
| 観察・分析機能 | 高分解能 TEM 観察、STEM 観察（HAADF / LAADF / ABF / BF）、EDS 元素分析、EELS 化学状態分析 |
| 整備区分（財源） | 文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業 |
| 設置場所 | 2-B13 |
マニュアル・利用案内
【ARIMデータ登録（公開課題・データ提供あり）】
📄 装置POP・登録必須ファイル案内（PDF）
※文部科学省 ARIM事業の「公開課題（データ提供あり）」でご利用の場合のみ対象です。金研分析枠等でのご利用時は対象外です。全体の案内や他装置のPOPは ARIMデータ登録のご案内 をご確認ください。
【利用申請について】
ご利用には東北大学ナノテク融合支援技術センター（CINTS）経由でのお申し込みが必要です。
【マニュアル（学内限定）】
📄 Gatan Enfinium EELS 取扱説明書（PDF・学内限定）