金研分析電顕室

Neoc-Pro　オスミウムコータ　(メイワフォーシス製）

低速精密切断機　(BUEHLER)

EM-09100IS イオンスライサ（JEOL)

ソフトプラズマエッチング装置　（メイワフォーシス）

実体顕微鏡（Nikon)

ホットプレート

イオンミリング　Model1010 (fischione)

ディンプルグラインダー (Gatan)

PIPSII

EM-002B　（TOPCON)

JEM-2000EXII(JEOL)

真空乾燥器　AVO-200NS

JEM-ARM200F(JEOL)

卓上半自動研磨機(マルトー)

ダイヤモンド研磨器

ホルダーステーション

ダイヤモンドワイヤソー

Quanta 3D (Thermofisher)

Versa 3D (Thermofisher)

リガク　SmartLab 9SW

リガク　DTG-DTA/DSC

区分	S/TEM	S/TEM	S/TEM	TEM	TEM
外観
名称	JEM-ARM200F W コレクター	JEM-ARM200F STEM コレクター	JEM-2100plus	EM-002B	JEM-2000EX
機能	TEM/STEM/EDS/EELS	TEM/STEM/EDS/EELS	TEM/STEM/EDS	TEM/STEM/EDS	TEM
場所	2-B13	2-B14	3-103	1-105	1-105
整備区分（財源）	ARIM
備考				EDS不調高圧不調160kVまで CL固定絞り汚れ	ややレンズ不安定

区分	試料加熱ホルダ	試料冷却ホルダ	試料加熱ホルダ	試料冷却ホルダ
外観
名称
機能	JEM-2000EXII用	JEM-2000EXII用	ARM200F/2100plus用 Protchips	ARM200F/2100plus用バルク用
場所	1-105	1-105	2-B14	2-B14
備考			調整中	調整中

区分	FIB	FIB	FIB	低エネルギーミリング
外観
名称	Thermo Fisher Scientific社製 Versa 3D	Thermo Fisher Scientific社製 Quanta 3D	TESCAN社製AMBER X	Technoorg Linda社製Gentle Mill 3
機能	・デュアルビームGa-FIB ・SEM（FE-SEM）・FIB（Gaイオン銃）・マイクロサンプリング・Pt ＆C保護膜形成・シリアルセクショニング法による3次元像取得・反射電子検出器・EDS分析	・デュアルビームGa-FIB ・SEM（W電子銃）・FIB（Gaイオン銃）・マイクロサンプリング・C & W保護膜形成	・デュアルビームXeプラズマFIB ・SEM（FE-SEM）・FIB（Xeプラズマ）・Gaフリー・マイクロサンプリング・Pt ＆C保護膜形成・FIBを一次イオン源としたTOF-SIMS ・シリアルセクショニング法による3次元像取得・反射電子検出器・EDS分析・ロッキングステージ搭載	・低エネルギープラズマミリング・アルゴンイオンブロードビーム・ビームカレント 5 ～ 80 μA ・イオン照射角度 0～6°
場所	2-613	2-613	2-612	2-613
整備区分（財源）	ARIM		ARIM	ARIM
備考			準備中

区分	イオンミリング	~~イオンミリング~~	イオンミリング	イオンスライサー	電解研磨装置
外観
名称	model 1010	~~PIPS II（A)~~	PIPS II（B）	EM-09100IS
機能	自動停止試料冷却	~~試料冷却~~	自動停止試料冷却	断面試料作製	ツインジェット方式
場所	1-105	~~1-105~~	1-105	1-105
整備区分（財源）		※委託管理装置	ARIM
備考		終了			貸出のみ