装置一覧

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稼働状況

透過電子顕微（TEM/STEM）

TEM試料ホルダ

TEM試料作製

区分	FIB	FIB	FIB	低エネルギーミリング
外観
名称	Thermo Fisher Scientific社製 Versa 3D	Thermo Fisher Scientific社製 Quanta 3D	TESCAN社製AMBER X	Technoorg Linda社製Gentle Mill 3
機能	・デュアルビームGa-FIB ・SEM（FE-SEM） ・FIB（Gaイオン銃） ・マイクロサンプリング ・Pt ＆C保護膜形成 ・シリアルセクショニング法による3次元像取得 ・反射電子検出器 ・EDS分析	・デュアルビームGa-FIB ・SEM（W電子銃） ・FIB（Gaイオン銃） ・マイクロサンプリング ・C & W保護膜形成	・デュアルビームXeプラズマFIB ・SEM（FE-SEM） ・FIB（Xeプラズマ） ・Gaフリー ・マイクロサンプリング ・Pt ＆C保護膜形成 ・FIBを一次イオン源としたTOF-SIMS ・シリアルセクショニング法による3次元像取得 ・反射電子検出器 ・EDS分析 ・ロッキングステージ搭載	・低エネルギープラズマミリング ・アルゴンイオンブロードビーム ・ビームカレント 5 ～ 80 μA ・イオン照射角度 0～6°
場所	2-613	2-613	2-612	2-613
備考			準備中

区分	イオンミリング	イオンミリング	イオンミリング	イオンスライサー	電解研磨装置
外観
名称	model 1010	PIPS II（A)	PIPS II（B）	EM-09100IS
機能	自動停止 試料冷却	試料冷却 ※委託管理装置	自動停止 試料冷却	断面試料作製	ツインジェット方式
場所	1-105	1-105	先端電顕センター	1-105
備考					貸出のみ

TEM試料関連機器

区分	ディスクパンチ	ラップ研磨器	低速カッター	ディンプルグラインダー	ダイヤモンドワイヤソー
外観
名称	自作	マルトー		Gatan 656
機能
場所	1-105	1-105	1-105	1-105	1-105
備考

区分	自動研磨機	ホットプレート	超音波ディスク打抜き機
外観
名称			自作
機能			Φ3mmディスク
場所	1-105	1-105	1-105
備考

区分	デジタル顕微鏡	実体顕微鏡	光学顕微鏡
外観
名称
機能
場所	1-105,2-B13,2-B14,2-613,3-103	1-105	1-105
備考

電子顕微鏡関連機器

区分	オスミウムコーター	カーボンコータ	イオンクリーナー	イオンクリーナー	イオンクリーナー
外観
名称	NEOC-PRO
機能
場所	1-111	2-613	3-103	2-B13	2-B14
備考			調整中

区分	プラズマエッチング装置	プラズマクリーナー	プラズマクリーナー
外観
名称		Solarus	Solarus
機能		ガス種：Ar,H2,O2	ガス種：Ar,H2,O2
場所	1-105	2-B13	2-B14
備考			故障中

その他の装置

区分	多目的X線回折装置	熱分析装置
外観
名称	SmartLab 9SW	Thermo plus EVO Ⅱ
機能	XRD	DSC/TG-DTA
場所	2-613	2-613
備考

ソフトウェア

• 結晶構造モデリング・電子回折シミュレーション
• 高分解能電子顕微鏡像シミュレーション