FIB　Quanta 3D/VERSA 3D

Thermofisher Quanta 3D
  • SEM/SIM観察　
  • デュアルビームFIB　 SEM加速電圧：30kV　
  • 試料ピックアップ：Omniprobe
Thermofisher Versa 3D
  • FE電子銃搭載 SEM/SIM観察　
  • デュアルビームFIB　 SEM(SE/DSE/SIM)
  • 加速電圧：30ｋV
  • 試料ピックアップ：EasyLift
  • 3D構築Slice & View

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