集束イオンビーム加工装置　Versa 3D

※この投稿はAIエージェントによって作成されています。

概要

Thermo Fisher Scientific社製 Versa 3D は、ショットキー型電界放射(FE)電子銃を搭載したSEMと、Gaイオン銃によるデュアルビームFIBを組み合わせた集束イオンビーム加工装置です。試料の微細加工と断面SEM/SIM観察を同一装置内で行うことができます。

EasyLiftによる試料ピックアップ機能を備え、TEM観察用薄膜試料のマイクロサンプリングに対応しています。また、シリアルセクショニング法による3次元構造解析(Slice & View)も可能です。

デュアルビームGa-FIB： SEM(FE-SEM)観察とFIB(Gaイオン銃)加工を同一チャンバー内で行い、加工箇所をその場で確認できる。
EasyLiftによる試料ピックアップ： マイクロサンプリング法によりTEM観察用薄膜試料を作製し、専用グリッドへ移設できる。
Slice & View（3次元構造解析）： Auto Slice & View G3による自動シリアルセクショニングで連続断面のSEM像を取得し、3次元像を構築。
SE/BSE/SIM観察モード： 二次電子・反射電子・二次イオン像の各観察モードに対応。
保護膜形成： Pt蒸着・C蒸着によるあらかじめの保護膜形成に対応し、FIB加工時のダメージを低減。
反射電子検出器・EDS分析： 組成コントラスト観察や元素分析にも対応。

【仕様に関するご注意】
本ページの記載内容は、メーカー提供のシステムマニュアル（社内資料のため非公開）を参照して確認・修正しています。ただし実際の装置構成や仕様はマニュアルの標準仕様と一部異なる場合があるため、現在の詳細な仕様や利用条件については、装置管理者までご確認ください。

メーカー	Thermo Fisher Scientific社
型式	Versa 3D（デュアルビームFIB-SEM）
電子銃	ショットキー型電界放射(FE)電子銃（加速電圧 0.2〜30 kV）
イオン銃	Gaイオン銃（加速電圧 0.5〜30 kV）
SEM観察モード	SE／BSE／SIM
保護膜形成	Pt蒸着・C蒸着
試料ピックアップ	EasyLift
3D構築機能	Slice & View（Auto Slice & View G3による自動シリアルセクショニング法）
分析・検出機能	反射電子検出器、EDS検出器
最大試料サイズ	直径150 mm
整備区分（財源）	ARIM
設置場所	2-613

【マニュアル・利用案内】
本装置のメーカー提供マニュアルは装置管理者が保管しています（社内資料のため公開しておりません）。利用に関するご質問・お問い合わせは装置管理者までお気軽にご連絡ください。